[發明專利]大氣壓等離子體發生裝置

有效

• 申請號: 201880096124.0
• 申請日: 2018-08-02
• 公開（公告）號: CN112543990B
• 公開（公告）日: 2023-10-24
• 發明（設計）人: 神藤高廣
• 申請（專利權）人: 株式會社富士
• 主分類號: H01L21/3065
• 分類號: H01L21/3065
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 楊青;安翔

目的在于提供能夠抑制NOx的產生的大氣壓等離子氣體發生裝置。大氣壓等離子體發生裝置具備用于加熱從產生等離子體的反應室噴出的等離子氣體的加熱器。控制裝置基于由NOx傳感器輸出的信號控制加熱器，以使NOx濃度為閾值以下。由此，能夠將NOx的生成量限制為閾值以下。

技術領域

本發明涉及大氣壓等離子氣體發生裝置。

背景技術

以往，在等離子體處理中，由于溫度條件影響處理品質，所以進行溫度控制。例如，在專利文獻1所記載的等離子體處理裝置中，在真空容器內通過等離子體處理而蝕刻的晶片所載置的試料臺的內部配置有溫度傳感器及加熱器，以成為預定的溫度的方式進行控制。

現有技術文獻

專利文獻1：日本特開2016-213359號公報

發明內容

發明所要解決的課題

然而，在大氣壓等離子體裝置中，查明了在存在氧及氮的環境下產生了高溫的等離子氣體的情況下，會產生NOx。NOx對環境等有害，成為法律限制的對象，因此需要抑制產生。

本申請鑒于上述課題而提出，其目的在于提供能夠抑制NOx的產生的大氣壓等離子氣體發生裝置。

用于解決課題的手段

本說明書公開一種大氣壓等離子體發生裝置，具備：一對電極，通過放電而產生等離子體；反應室，在上述反應室中內置上述一對電極，具有供處理氣體流入的流入口及供通過上述一對電極而將上述處理氣體等離子體化后的等離子氣體流出的流出口；及控制裝置，控制從上述流出口流出的上述等離子氣體的溫度，以使NOx的產生量為閾值以下。

發明效果

根據本公開，能夠提供能夠抑制NOx的產生的大氣壓等離子氣體發生裝置。

附圖說明

圖1是示出安裝于產業用機器人的大氣壓等離子體發生裝置的概略結構的圖。

圖2是示出大氣壓等離子體發生裝置的立體圖。

圖3是示出等離子氣體噴出裝置及加熱氣體供給裝置的剖視圖。

圖4是示出大氣壓等離子體發生裝置的控制系統的框圖。

圖5是示出發生源溫度對NOx濃度及臭氧濃度的曲線圖。

具體實施方式

如圖1所示，大氣壓等離子體發生裝置10具備：等離子體頭11、主體部17、電力電纜40及氣體配管80等。主體部17具備處理氣體供給裝置77及冷卻氣體供給裝置102。大氣壓等離子體發生裝置10從主體部17經由電力電纜40而向等離子體頭11傳送電力，經由氣體配管80而供給處理氣體，從等離子體頭11照射等離子氣體。另外，處理氣體是使氧等活性氣體和氮等惰性氣體以任意的比例混合后的氣體，等離子氣體是氧等離子氣體。等離子體頭11安裝于產業用機器人140的機械手臂141的前端。電力電纜40及氣體配管80沿著機械手臂141安裝。機械手臂141是使兩個臂部145、145沿著一個方向連結的多關節機器人。產業用機器人140驅動機械手臂141而進行向工件臺5支撐的工件W照射等離子氣體的作業。

如圖2所示，等離子體頭11具有等離子氣體噴出裝置12及加熱氣體供給裝置14。在以下的說明中，將等離子體頭11的寬度方向稱作X方向，將大氣壓等離子體發生裝置10的進深方向稱作Y方向，將與X方向和Y方向正交的方向也就是上下方向稱作Z方向。

等離子氣體噴出裝置12由上部殼體19、下部殼體20、下部罩22、一對電極24、26(圖3)、一對散熱器27、28構成。上部殼體19和下部殼體20以使上部殼體19配置于下部殼體20之上的狀態經由橡膠制的密封部件29而連結。并且，連結的狀態下的上部殼體19和下部殼體20在X方向上的兩側面處由一對散熱器27、28夾住。