[發明專利]硬質被膜和硬質被膜被覆構件

有效

• 申請號: 201880096109.6
• 申請日: 2018-08-01
• 公開（公告）號: CN112840062B
• 公開（公告）日: 2022-11-04
• 發明（設計）人: 王媺
• 申請（專利權）人: OSG株式會社
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C28/04
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 陳冠欽

通過將A組成(AlCrSiα的氮化物)、B組成(CrBSiβ的氮化物)和C組成(AlCr(SiC)γ的氮化物)中的一種的單一組成層的A層(32)與將A組成、B組成和C組成的納米層(納米層A層(32n)、納米層B層(34n)、納米層C層(36n))中的兩種交替地層疊而成的兩種納米層交替層(38、40)分別以規定的膜厚交替地層疊，即使在例如對于鈦合金的切削加工中也可得到優異的耐久性等可得到優異的耐磨性、韌性、潤滑性和耐熔敷性。由此，除了鈦合金外，例如在對于碳素鋼、不銹鋼、鑄鐵、合金鋼等各種被切削材料的切削加工中或者在高速加工和干式加工等嚴酷的加工條件下，借由高韌性而抑制硬質被膜的破裂和剝離，從而能夠實現工具的長壽命化。

技術領域

本發明涉及硬質被膜和硬質被膜被覆構件，特別涉及具有優異的耐磨性、耐熔敷性的硬質被膜。

背景技術

在端銑刀、銑刀、鉆頭、車刀、斷屑器等切削工具、冷成型絲錐、滾軋成型工具等非切削工具等各種加工工具、或者要求耐磨性的摩擦零件等各種構件中，進行了對超硬合金、高速工具鋼等的母材的表面涂覆硬質被膜。例如，在專利文獻1中提出了AlCrN系/AlTiSiN系的多層結構的硬質被膜，在專利文獻2中提出了AlCrN系/CrN系的多層結構的硬質被膜，在專利文獻3中提出了AlCr系/TiSi系的多層結構的硬質被膜。該等硬質被膜通常具備優異的耐磨性、耐熔敷性。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2012-35378號公報

專利文獻2：日本特開2014-79834號公報

專利文獻3：日本特表2008-534297號公報

發明內容

發明所要解決的課題

但是，即使在這樣的硬質被膜中，有時也因被切削材料的種類和切削速度等加工條件、使用條件等而未必能夠獲得充分滿足的性能，仍存在改良的余地。例如，在將施加了以往的硬質被膜的切削工具用于鈦合金的切削加工時，由于鈦合金的粘滯性比較強，因此有時硬質被膜被提早剝離或破裂，不能得到充分的工具壽命。

本發明是以以上的情況為背景而完成的，其目的在于，提供即使在對于鈦合金的切削加工中也可得到規定的工具壽命等具有優異的耐磨性、耐熔敷性的新型構成的硬質被膜和硬質被膜被覆構件。

用于解決課題的手段

本發明人以以上的情況為背景反復進行了各種實驗、研究后發現，通過使用由AlCrSiα(其中Si和α為任意添加成分，α為選自B、C、Ti、V、Y、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的一種以上的元素)的氮化物構成的A組成、由CrBSiβ(其中Si和β為任意添加成分，β為選自C、Al、Ti、V、Y、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的一種以上的元素)的氮化物構成的B組成和AlCr(SiC)γ(其中γ為任意添加成分，為選自B、Ti、V、Y、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的一種以上的元素)的氮化物構成的C組成并將它們以規定的膜厚層疊，可得到具有高韌性的優異的耐久性的硬質被膜。本發明是基于該見解而完成的。