[發明專利]有機EL顯示裝置及其制造方法

在審

• 申請號: 201880091300.1
• 申請日: 2018-03-28
• 公開（公告）號: CN111886928A
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 岸本克彥
• 申請（專利權）人: 堺顯示器制品株式會社
• 主分類號: H05B33/04
• 分類號: H05B33/04;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/10
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識產權代理有限公司 44334
• 代理人: 葉乙梅

有機EL顯示裝置(100)具有基板(1)、具有由基板支承的多個有機EL元件(3)的元件基板(20)以及覆蓋多個有機EL元件的薄膜密封結構(10)，薄膜密封結構具有第一無機勢壘層(12)、形成于第一無機勢壘層上的有機勢壘層(14)以及形成于有機勢壘層上的第二無機勢壘層(16)，第一無機勢壘層的與有機勢壘層接觸的表面(12S)具有多個細微的凸部，表面的粗糙度的最大高度Rz為20nm以上且小于100nm。

技術領域

發明涉及一種有機EL顯示裝置及其制造方法。

背景技術

有機EL(Electro Luminescence，電致發光)顯示裝置已開始實用化。有機EL顯示裝置的特征之一為，可以獲得柔性顯示裝置。有機EL顯示裝置中，針對每個像素具有：至少一個有機EL元件(Organic Light Emitting Diode:OLED，有機發光二極管)和控制向每個OLED供給的電流的至少一個TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶體管)。以下，將有機EL顯示裝置稱為OLED顯示裝置。如上所述針對每個OLED，具有TFT等開關元件的OLED顯示裝置被稱為有源矩陣型OLED顯示裝置。另外，形成TFT和OLED的基板被稱為元件基板。

OLED(特別是有機發光層和陰極電極材料)受到水分的影響容易劣化，且容易產生顯示不均。作為保護OLED免受水分并且提供不損害柔軟性的密封結構的技術，開發了薄膜密封(Thin Film Encapsulation，TFE)技術。薄膜密封技術是通過交替地層疊無機勢壘層和有機勢壘層來獲得足夠的水蒸氣勢壘性的薄膜。從OLED顯示裝置的耐濕可靠性的觀點來看，作為薄膜密封結構的WVTR(Water Vapor Transmission Rate：WVTR，水蒸氣透過率)，通常要求為1×10^-4g/m²/day以下。

目前市面上出售的OLED顯示裝置所使用的TFE結構具有厚度約5μm至約20μm的有機勢壘層(高分子勢壘層)。這樣相對較厚的有機勢壘層也起到使元件基板的表面平坦化的作用。相對較厚的有機勢壘層例如使用噴墨法形成。

另一方面，最近正在研究具有相對較薄的有機勢壘層的TFE結構。相對較薄的有機勢壘層僅在下部無機勢壘層(第一無機勢壘層)的凸部(覆蓋凸部的第一無機勢壘層)周圍離散地具有有機樹脂膜(存在有機勢壘層的“實心部”)。

例如，專利文獻1、2中記載有以下的方法。將加熱汽化后的霧狀有機材料(例如丙烯酸單體)供給到維持在室溫以下的溫度的元件基板上，并且有機材料在基板上冷凝而滴狀化。滴狀化的有機材料因毛細現象或表面張力在基板上移動，并且不均勻地分布在第一無機材料層的凸部的側面與基板表面之間的邊界部。之后，通過使有機材料固化，在邊界部形成有機樹脂膜。另外，專利文獻3中公開了如下方法:在元件基板的平坦部上也形成有機樹脂膜后，進行灰化，由此形成具有離散地分布的多個實心部的有機勢壘層。為了參考，專利文獻1～3的公開內容的全部援引于本說明書中。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2014/196137號

專利文獻2：日本特開2016-39120號公報

專利文獻3：國際公開第2018/003129號

發明內容

本發明所要解決的技術問題

根據本發明人的研究，若設置TFE結構，則存在有機EL顯示裝置的光利用效率降低的問題。其原因之一是，從OLED(發光層)出射的光在TFE結構內的界面被反射。

本發明是為了解決上述問題而完成的，其目的在于，提供一種抑制了TFE結構中的光的反射的OLED顯示裝置及其制造方法。

用于解決問題的方案