[發明專利]模塊化真空泵送和/或減排系統

在審

• 申請號: 201880086350.0
• 申請日: 2018-11-05
• 公開（公告）號: CN111556927A
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: C.M.拜利;C.L.桑茲
• 申請（專利權）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號: F04B39/12
• 分類號: F04B39/12;B01D53/74;F04B41/00;F16M1/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 董均華;劉茜

真空泵送和/或減排系統（80），用于從實體（90）排放和/或減排流體，所述系統（80）包括：第一模塊（20），包括用于從實體（90）泵送流體的真空泵送設備（24）和/或用于減排從實體（90）排放的流體的減排設備；以及第二模塊，在第一系統維度中被布置為相鄰于第一模塊（20）；其中，第一模塊和第二模塊每個在第一系統維度中具有最大大小，所述最大大小是共同固定系統值（x）的相應整數倍數。

技術領域

本發明涉及真空泵送和/或減排系統。

背景技術

真空泵送和減排系統用于各種和不同技術領域（例如，半導體制造）中。通常，在所述系統中，真空泵送設備用于將氣體（例如，來自工業過程的氣體）泵送出特定位置，并且減排設備用于減排（例如，消滅或清除）已產生的非期望物質（例如，排放氣體）。

根據所涉及的過程，可存在有不同的標準，用于真空泵送和減排。例如，通常期望的是，使用不同的真空泵送設備，用于涉及不同過程氣體、不同氣體壓力和不同氣體流動的不同過程。而且，通常期望的是，使用不同的減排設備，以消滅或清除不同的非期望物質，或處理不同的氣體流動。

真空泵送和減排系統通常被設計定制為根據將與其使用的特定過程。然而，設計、制造和安裝此類定制系統所花費的時間量通常被延長，因為不同的過程要求不同的真空泵送和減排系統解決方案。

發明內容

在第一方面中，本發明提供了模塊化真空泵送和減排系統，用于從實體排放和減排氣體。系統包括多個功能模塊和多個氣體連接管線，每個氣體連接管線用于輸送通過其的氣體流動。多個功能模塊包括：第一模塊，包括真空泵送設備，用于從實體泵送氣體；以及第二模塊，包括減排設備，用于減排從實體泵送的氣體。第一模塊在第一系統維度中定位為相鄰于第二模塊。第一模塊和第二模塊每個在第一系統維度中具有最大大小，所述最大大小是共同固定系統值（例如，在10mm-5cm的范圍中的值，例如，44mm）的相應整數倍數。第一模塊由多個氣體連接管線中的至少一個流體連接到第二模塊，使得減排設備可接收由真空泵送設備從實體泵送的氣體。氣體連接管線中的每個包括一個或多個部段，每個部段具有的大小例如在第一系統維度中是共同固定系統值的相應整數倍數。

本發明人已認識的是，通常，對于定制設計的真空泵送和減排系統，趨向于難以特征化或預測系統內的氣體的溫度曲線，特別是在構建或組裝真空泵送和減排系統之前。如此，一旦在操作中，則可被認識的是，系統內的氣體的溫度足夠低，使得氣體內的一種或多種可凝結物質凝結成液態或固態，例如，在系統的氣體連接管線或管道內?？赡Y物質的此凝結可形成堵塞，限制氣體流動和/或不利于系統的操作。這也可導致過程氣體的更不有效的處理。從半導體制造設施輸出的過程氣體趨向于包括可凝結物質。

本發明人已認識的是，有利地，使用具有的寬度為相同預確定共同系統值的整數倍數的模塊趨向于提供的是，將那些模塊連接在一起所需的連接管線（例如，管道、導管、電線或用于真空泵送和/或減排系統中的任何其它物體）長度具有的長度也是相同預確定共同系統值的整數倍數。而且，這趨向于允許預先制造標準化模塊和連接管線。這趨向于允許更準確地確定或預測模塊和連接管線的特征和行為，例如，在組裝系統之前。這趨向于允許更準確地和更容易地確定或預測整個真空泵送和減排系統的特征和行為。例如，準確地特征化或預測系統內的氣體的溫度曲線趨向于是顯著更容易的。這趨向于有助于將系統設計為具有有利或優選的氣體溫度曲線，例如，從而減少或消除過程氣體中的可凝結物質在系統中的凝結。而且，趨向于有助于通過熱管理系統而熱管理所述系統，以控制系統內的過程氣體的溫度曲線。因此，有利地，模塊化真空泵送和減排系統趨向于緩解或克服上述問題。