[發(fā)明專利]用于放電室的電極

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880086276.2
• 申請(qǐng)日: 2018-12-14
• 公開（公告）號(hào): CN111587471A
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: L·拉敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西默有限公司
• 主分類號(hào): H01J61/04
• 分類號(hào): H01J61/04;H01J61/06;H01J61/12
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 董莘

1.一種用于深紫外(DUV)光源的放電室，所述放電室包括：

殼體；以及

在所述殼體中的第一電極和第二電極，所述第一電極和所述第二電極彼此分離，以在所述第一電極與所述第二電極之間形成放電區(qū)域，所述放電區(qū)域被配置為容納包含至少一種稀有氣體和鹵素氣體的增益介質(zhì)，其中

所述第一電極和所述第二電極中的至少一者包括金屬合金，所述金屬合金包含按重量計(jì)大于33％、且小于50％的鋅。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電室，其中所述第一電極是陰極，以及所述第二電極是陽(yáng)極，并且所述第二電極包括包含按重量計(jì)大于33％、且小于50％的鋅的所述金屬合金。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的放電室，其中所述金屬合金還包括銅。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的放電室，其中所述鹵素氣體包括氟氣。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的放電室，其中所述稀有氣體包括氬氣、氪氣、氖氣和/或氙氣。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的放電室，其中所述第二電極的所述金屬合金包含按重量計(jì)在35％至50％之間的鋅。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的放電室，其中所述第二電極的所述金屬合金包含按重量計(jì)在37％至50％之間的鋅。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的放電室，其中所述第二電極的所述金屬合金包含按重量計(jì)在40％至50％之間的鋅。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的放電室，其中所述第二電極的所述金屬合金包含按重量計(jì)大于33％、且小于45％的鋅。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的放電室，其中所述第一電極包含按重量計(jì)大于33％、且小于40％的鋅，并且所述第二電極包含按重量計(jì)大于33％、且小于50％的鋅。

11.一種深紫外(DUV)光源，包括：

主振蕩器，包括第一主振蕩器電極和第二主振蕩器電極，所述第一主振蕩器電極和所述第二主振蕩器電極彼此分離，以形成主振蕩器放電區(qū)域，所述主振蕩器放電區(qū)域被配置為容納包含稀有氣體和鹵素氣體的增益介質(zhì)，其中所述第一主振蕩器電極和所述第二主振蕩器電極中的至少一者包括包含按重量計(jì)大于33％、且小于50％的鋅的金屬合金；以及

在光束路徑上的功率放大器，其中在操作使用中，所述主振蕩器產(chǎn)生種子光束，所述種子光束在所述光束路徑上傳播，并且被所述功率放大器放大。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的DUV光源，其中所述功率放大器包括：

第一功率放大器電極；以及

第二功率放大器電極，與所述第一功率放大器電極分離，以形成功率放大器放電區(qū)域，所述功率放大器放電區(qū)域被配置為容納包含稀有氣體和鹵素氣體的增益介質(zhì)，其中所述第一功率放大器電極和所述第二功率放大器電極中的至少一者包括包含按重量計(jì)大于33％、且小于50％的鋅的金屬合金。

13.一種用于深紫外(DUV)光源的陽(yáng)極，所述陽(yáng)極包括：

金屬合金材料的襯底，所述金屬合金材料包含至少一種金屬組分；以及

在所述襯底的一側(cè)上的表面，其中

在操作使用中，所述表面被定位為面向陰極和放電區(qū)域，所述放電區(qū)域具有包含鹵素氣體的增益介質(zhì)，

所述表面中的所述金屬組分與所述鹵素氣體反應(yīng)，以在所述表面上形成保護(hù)材料層，并且

在所述陽(yáng)極與所述陰極之間發(fā)生至少三百億次的放電之后，所述保護(hù)材料層覆蓋整個(gè)所述表面。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的陽(yáng)極，其中在所述陽(yáng)極與所述陰極之間發(fā)生至少三百億次的放電之后，所述保護(hù)材料層具有基本均勻的導(dǎo)電性。