[發(fā)明專利]玻璃體的制造裝置、玻璃體的制造方法、套件搬運機(jī)構(gòu)及套件加熱機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880076296.1
• 申請日: 2018-11-30
• 公開（公告）號: CN111386249B
• 公開（公告）日: 2023-01-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 豐崎孝一;三宅裕志;鈴木恒夫
• 申請（專利權(quán)）人: 古河電氣工業(yè)株式會社
• 主分類號: C03B37/014
• 分類號: C03B37/014;C03B20/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 劉文海

本發(fā)明目的在于提供能夠抑制運轉(zhuǎn)率的降低、維護(hù)成本的增大的玻璃體的制造裝置。一種使具有多孔質(zhì)部的套件脫水并進(jìn)行透明玻璃化而制造玻璃體的玻璃體的制造裝置，其具備：第一加熱爐，其具備收容套件的爐心管、和第一加熱器，脫水氣體被供給至爐心管內(nèi)，并且利用第一加熱器在比多孔質(zhì)部的軟化點低的第一處理溫度下對套件進(jìn)行加熱；第二加熱爐，其具備以收容套件的方式構(gòu)成的結(jié)構(gòu)體、和第二加熱器，并且利用第二加熱器在軟化點以上的第二處理溫度下對套件進(jìn)行加熱；以及搬運容器，其構(gòu)成為能夠分別與第一加熱爐以及第二加熱爐在維持相對于大氣的氣密性的同時進(jìn)行連接，收容并保持套件，并在第一加熱爐與第二加熱爐之間搬運套件。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及玻璃體的制造裝置、玻璃體的制造方法、套件搬運機(jī)構(gòu)、以及套件加熱機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

石英玻璃系光纖通常通過將作為由石英系玻璃構(gòu)成的玻璃體即光纖母材拉絲而制造。在制造該光纖母材時，例如使用OVD(Outside Vapor-phase Deposition)法。在使用OVD法的情況下，在由石英系玻璃構(gòu)成的目標(biāo)棒的外周堆積石英玻璃微粒子，呈層狀形成多孔質(zhì)部而制作套件(ス一ト)。之后，為了除去多孔質(zhì)部所包含的羥基，將套件在脫水氣體環(huán)境下加熱，實施所謂的脫水處理。脫水處理在比構(gòu)成套件的石英玻璃的軟化點低的溫度下實施。之后，對套件實施在軟化點以上的溫度下加熱的玻璃化處理。由此，在多孔質(zhì)部中，存在于內(nèi)部的空孔消失，而成為透明的玻璃(以下記載為適當(dāng)透明玻璃化)。

脫水處理與玻璃化處理在相同或者不同的加熱爐內(nèi)進(jìn)行。另外，加熱爐通常具備由石英玻璃構(gòu)成的爐心管(例如專利文獻(xiàn)1、2)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2004-345869號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開2007-153708號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

然而，玻璃化處理在軟化點以上的溫度下進(jìn)行，因此由石英玻璃構(gòu)成的爐心管有可能軟化而變形或者失透。在爐心管變形或者失透的情況下，需要進(jìn)行更換爐心管等維護(hù)，因此成為加熱爐以及包括加熱爐的玻璃體的制造裝置整體的運轉(zhuǎn)率降低、維護(hù)成本的增大的重要因素。

另一方面，可以考慮將脫水處理與玻璃化處理在不同的加熱爐內(nèi)進(jìn)行。在該情況下，例如，可以考慮在具備在玻璃化處理溫度下具有耐熱性的爐心管的加熱爐中進(jìn)行玻璃化處理的方法。然而，在該方法中，在從進(jìn)行脫水處理的脫水加熱爐向進(jìn)行玻璃化處理的玻璃化加熱爐轉(zhuǎn)移套件時，有可能使大氣流入脫水加熱爐。當(dāng)大氣流入脫水加熱爐時，大氣的水分與脫水氣體反應(yīng)而生成腐蝕性物質(zhì)，該腐蝕性物質(zhì)有可能損傷脫水加熱爐。另外，腐蝕性物質(zhì)有可能附著于套件，并與套件一起被運送至玻璃化加熱爐。并且，存在如下可能性：在脫水加熱爐中生成的腐蝕性物質(zhì)向外部漏出、或者脫水氣體漏出而與大氣的水分反應(yīng)而在脫水加熱爐的外部生成腐蝕性物質(zhì)，從而損傷脫水加熱爐、其他設(shè)備。

本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，目的在于提供能夠抑制運轉(zhuǎn)率的降低、維護(hù)成本的增大的玻璃體的制造裝置、玻璃體的制造方法、套件搬運機(jī)構(gòu)、以及套件加熱機(jī)構(gòu)。

用于解決課題的方案

為了解決上述的課題并達(dá)成目的，本發(fā)明的一方案所涉及的玻璃體的制造裝置是將具有多孔質(zhì)部的套件脫水并進(jìn)行透明玻璃化而制造玻璃體的制造裝置，其特征在于，具備：第一加熱爐，其具備收容所述套件的爐心管、和第一加熱器，脫水氣體被供給至所述爐心管內(nèi)，并且利用所述第一加熱器在比所述多孔質(zhì)部的軟化點低的第一處理溫度下對所述套件進(jìn)行加熱；第二加熱爐，其具備以收容所述套件的方式構(gòu)成的結(jié)構(gòu)體、和第二加熱器，并且利用所述第二加熱器在所述軟化點以上的第二處理溫度下對所述套件進(jìn)行加熱；以及搬運容器，其構(gòu)成為能夠分別與所述第一加熱爐以及所述第二加熱爐在維持相對于大氣的氣密性的同時進(jìn)行連接，收容并保持所述套件，并在所述第一加熱爐與所述第二加熱爐之間搬運所述套件。