[發明專利]用于衍射受限光學系統的透鏡像差的經驗檢測有效
| 申請號： | 201880070079.1 | 申請日： | 2018-08-23 |
| 公開（公告）號： | CN111279269B | 公開（公告）日： | 2022-06-07 |
| 發明（設計）人： | 鐘欽;安托尼·P·馬內斯;黃·J·鄭 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國;趙靜 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 衍射 受限 光學系統 透鏡 經驗 檢測 | ||
1.一種確定光刻系統中的焦點的方法，包括：
利用數字微型反射鏡裝置(DMD)圖案來投射光學信號于基板上；
從所述基板取得返回光學信號；
測量所述返回光學信號的一或多個聚焦高度；
基于所述返回光學信號的所述一或多個聚焦高度，形成離焦曲線；
比較所述離焦曲線與預定曲線，其中所述預定曲線為焦點的函數；及
確定透鏡像差是否存在。
2.如權利要求1所述的方法，其中所述DMD圖案為點5x5圖案。
3.如權利要求1所述的方法，其中所述光學信號為光束。
4.如權利要求3所述的方法，其中所述光束具有范圍為從約360nm至約410nm的波長。
5.如權利要求3所述的方法，其中在開啟位置及關閉位置的鏡子的結合形成所述DMD圖案。
6.如權利要求1所述的方法，其中所述返回光學信號為光束，所述光束從所述光學信號的反射及轉換產生。
7.如權利要求1所述的方法，其中所述返回光學信號由相機取得。
8.一種確定像差的方法，包括：
利用第一數字微型反射鏡裝置(DMD)圖案來投射第一光學信號于基板上；
從所述基板取得第一返回光學信號；
基于所述第一返回光學信號，形成第一離焦曲線；
比較所述第一離焦曲線及預定曲線，其中所述預定曲線為焦點的函數；
確定透鏡像差是否存在；
利用第二DMD圖案來投射第二光學信號于所述基板上；
從所述基板取得第二返回光學信號；
基于所述第二返回光學信號，形成第二離焦曲線；及
比較所述第一離焦曲線與所述第二離焦曲線，以確定透鏡像差形式。
9.如權利要求8所述的方法，其中所述第一DMD圖案為水平條紋。
10.如權利要求8所述的方法，其中所述光學信號為光束。
11.如權利要求10所述的方法，其中所述光束具有范圍在從約360nm至約410nm的波長。
12.如權利要求9所述的方法，其中所述第二DMD圖案為垂直條紋圖案。
13.如權利要求8所述的方法，其中所述第一DMD圖案為點5x5圖案。
14.如權利要求13所述的方法，其中所述第二DMD圖案為垂直條紋圖案。
15.一種確定焦點的方法，所述方法包括：
利用第一數字微型反射鏡裝置(DMD)圖案來投射第一光學信號于基板上；
從所述基板取得第一返回光學信號；
基于所述第一返回光學信號，形成第一離焦曲線；
比較所述第一離焦曲線及預定曲線，其中所述預定曲線為焦點的函數；
利用多個DMD圖案來投射第二光學信號于所述基板上；
從所述基板取得第二返回光學信號；及
確定透鏡像差形式。
16.如權利要求15所述的方法，進一步包括：
基于所述第二返回光學信號，形成第二離焦曲線；及
比較所述第二離焦曲線與預定曲線，以確定所述透鏡像差形式。
17.如權利要求15所述的方法，其中所述DMD圖案包括水平條紋圖案及垂直條紋圖案。
18.如權利要求15所述的方法，其中所述光學信號為光束。
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