[發明專利]輸送用于等離子體消減的等離子體流的噴嘴及相關方法

有效

• 申請號: 201880064937.1
• 申請日: 2018-10-01
• 公開（公告）號: CN111149437B
• 公開（公告）日: 2023-08-15
• 發明（設計）人: S.馬尼;崔奫修;高燦奎
• 申請（專利權）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號: H05H1/34
• 分類號: H05H1/34;H05H1/48;B05B1/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 劉楨;劉茜

1.一種噴嘴，用于將等離子體流從等離子體發生器輸送到發生消減反應的反應腔室，所述噴嘴包括：

導管，其在入口與出口之間延伸，所述入口被布置成接收所述等離子體流，其特征在于，所述出口被布置成與所述反應腔室流體聯接，所述等離子體流由所述導管在所述入口和所述出口之間沿軸向方向遞送，其中所述噴嘴是導熱的，并且布置成接收液態水以使用所述噴嘴運行時的高溫來將液態水轉化為水蒸氣，所述噴嘴具有在其中的多個孔，所述孔圍繞所述噴嘴和所述導管中的至少一個周向定位，并且被布置成沿所述軸向方向遞送所述水蒸氣，以與所述等離子體流混合。

2.根據權利要求1所述的噴嘴，其中所述導管由壁限定，所述壁在其中限定所述孔，并且所述孔被布置成將被加熱的水遞送到所述導管中，以在所述等離子體流傳送經過所述導管時與所述等離子體流混合。

3.根據權利要求1或2所述的噴嘴，其中，所述孔被布置成遞送被加熱的水，以在所述等離子體流傳送到所述反應腔室中時與所述等離子體流混合。

4.根據權利要求1或2所述的噴嘴，其中所述孔被定向成將被加熱的水在徑向和切向中的至少一個方向遞送到所述導管和所述反應腔室中的至少一個中。

5.根據權利要求1或2所述的噴嘴，其中所述孔被定向成將被加熱的水軸向遞送到所述導管和所述反應腔室中的至少一個中。

6.根據權利要求1所述的噴嘴，其中所述多個所述孔與同心圍繞所述導管的通道流體聯接，所述通道被布置成接收所述水以遞送到所述多個所述孔。

7.根據權利要求6所述的噴嘴，其中所述通道包括用于接收所述水的入口。

8.根據權利要求1或2所述的噴嘴，其中所述導管包括限制件，所述限制件可操作來產生湍流以將被加熱的水與所述等離子體流混合。

9.根據權利要求1或2所述的噴嘴，其中所述水包括水滴。

10.根據權利要求1或2所述的噴嘴，其中所述入口被布置成接收所述等離子體流和流出物流。

11.根據權利要求10所述的噴嘴，包括處理入口，所述處理入口被布置成將所述流出物流遞送到所述入口。

12.一種等離子體消減設備，包括如權利要求1至11中任一項所述的噴嘴。

13.一種方法，包括:

使用噴嘴將等離子體流從等離子體發生器輸送到發生消減反應的反應腔室，所述噴嘴包括在軸向方向在入口與出口之間延伸的導管，所述入口被布置成接收所述等離子體流，所述出口被布置成與所述反應腔室流體聯接，其中所述噴嘴是導熱的，并且所述方法包括由所述噴嘴接收液態水以使用所述噴嘴運行時的高溫來將液態水轉化為水蒸氣，所述噴嘴中具有多個孔，所述孔圍繞所述噴嘴和所述導管中的至少一個周向定位，并且所述方法包括在所述軸向方向上通過所述孔遞送所述水蒸氣，以與所述等離子體流混合。