[發(fā)明專利]壓電振子以及壓電振子的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880061310.0
• 申請日: 2018-09-21
• 公開（公告）號: CN111108688B
• 公開（公告）日: 2023-09-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 井原木洋;河合龍一
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社村田制作所
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H01L23/02;H01L23/10;H03H3/02
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 金雪梅;王海奇

本發(fā)明使基座部件與蓋部件穩(wěn)定地導(dǎo)通。水晶振子具備：水晶振動(dòng)元件；基座部件；蓋部件，經(jīng)由具有絕緣性的密封框以及接合部件與基座部件接合，以便在與基座部件形成的內(nèi)部空間收納水晶振動(dòng)元件，并且蓋部件具有導(dǎo)電性；以及焊料，收納于內(nèi)部空間，并且與基座部件和蓋部件接合，以便將基座部件與蓋部件電連接。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及壓電振子以及壓電振子的制造方法。

背景技術(shù)

一般而言，作為壓電振子之一，已知有水晶振子。水晶振子例如具備：水晶振動(dòng)元件、搭載有水晶振動(dòng)元件的基座部件、以及與基座部件接合以便在內(nèi)部空間收納水晶振動(dòng)元件的蓋部件。

這里，在使用具有電絕緣性(以下，稱為“絕緣性”)的接合部件將具有導(dǎo)電性的蓋部件與基座部件接合的情況下，由于在蓋部件與基座部件之間存在絕緣性的接合部件，所以蓋部件未接地。其結(jié)果是，例如，有由于外部的電磁波噪聲的影響而水晶振動(dòng)元件的振蕩頻率變動(dòng)的情況。

因此，例如，在對比文獻(xiàn)1公開了具備基板、沿著基板的上表面的外周邊設(shè)置的導(dǎo)體圖案、與基板的上表面接合的水晶元件、以及經(jīng)由接合部件與基板接合的蓋體的水晶器件。該水晶器件的蓋體的凸緣部與導(dǎo)體圖案接觸，該導(dǎo)體圖案與和接地電位連接的基板的外部端子電連接。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2016－184779號公報(bào)

然而，在對比文獻(xiàn)1的水晶器件中，凸緣部與導(dǎo)體圖案的連接部露出在內(nèi)部空間的外部，所以有該連接部例如容易受到溫度、濕度、腐蝕性氣體等外部環(huán)境的影響，而阻礙電連接的情況。另外，由于凸緣部與導(dǎo)體圖案的連接為簡單的接觸，所以例如有由于熱沖擊或者機(jī)械沖擊，而容易解除連接的情況。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于這樣的情況而發(fā)明的，本發(fā)明的目的在于提供能夠使基座部件與蓋部件穩(wěn)定地導(dǎo)通的壓電振子以及壓電振子的制造方法。

本發(fā)明的一側(cè)面所涉及的壓電振子具備：壓電振動(dòng)元件；基座部件；蓋部件，經(jīng)由具有絕緣性的接合部件與基座部件接合，以便在與基座部件形成的內(nèi)部空間收納壓電振動(dòng)元件，并且蓋部件具有導(dǎo)電性；以及焊料，被收納在內(nèi)部空間，并且與基座部件和蓋部件接合以便將基座部件與蓋部件電連接。

本發(fā)明的另一側(cè)面所涉及的壓電振子的制造方法包括：準(zhǔn)備基座部件的工序；在基座部件或者導(dǎo)電性的蓋部件中的一方配置焊料的工序；通過絕緣性的接合部件將基座部件與蓋部件接合，以便形成收納壓電振動(dòng)元件以及焊料的內(nèi)部空間的工序；以及通過焊料的接合將基座部件與蓋部件電連接的工序。

根據(jù)本發(fā)明，能夠使基座部件與蓋部件穩(wěn)定地導(dǎo)通。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的水晶振子的分解立體圖。

圖2是圖1的II－II線剖視圖。

圖3是圖1的基座部件的俯視圖。

圖4是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的水晶振子的制造方法的流程圖。

圖5是表示在蓋部件配置焊料的工序的圖。

圖6是本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的水晶振子的剖視圖。

圖7是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的水晶振子的制造方法的流程圖。

圖8是表示在基座部件配置焊料的工序的圖。

具體實(shí)施方式

以下對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的附圖的記載中，以相同或者相似的附圖標(biāo)記表示相同或者相似的構(gòu)成要素。附圖為例示，各部的尺寸、形狀是示意性的尺寸、形狀，不應(yīng)該理解為將本發(fā)明的技術(shù)范圍限定于該實(shí)施方式。