[發明專利]太陽能電池的制造方法、太陽能電池以及太陽能電池模塊

有效

• 申請號: 201880058091.0
• 申請日: 2018-09-11
• 公開（公告）號: CN111095571B
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發明（設計）人: 入江暢;吉田航;吉河訓太
• 申請（專利權）人: 株式會社鐘化
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝;劉寧軍

1.一種太陽能電池的制造方法，是背面電極型的太陽能電池的制造方法，上述太陽能電池具備：半導體基板，其在2個主面中的至少背面側具有凹凸結構；第1導電型半導體層和第1電極層，其按順序層疊在上述半導體基板的上述背面側的一部分；以及第2導電型半導體層和第2電極層，其按順序層疊在上述半導體基板的上述背面側的另一部分，

上述太陽能電池的制造方法的特征在于，包含：

電極材料膜形成工序，在層疊于上述半導體基板的上述背面側的上述第1導電型半導體層和上述第2導電型半導體層上，使用物理氣相生長法形成至少1層電極材料膜；以及

圖案化工序，進行將上述電極材料膜的一部分除去的圖案化，以在第1方向上延伸并且在第2方向上排列的方式形成帶狀的上述第1電極層和上述第2電極層，上述第2方向是沿著上述半導體基板的一邊部的方向，上述第1方向是與上述第2方向垂直的方向，

在上述電極材料膜形成工序中，一邊在上述第2方向上搬運層疊有上述第1導電型半導體層和上述第2導電型半導體層的上述半導體基板，一邊形成上述電極材料膜。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池的制造方法，

在上述電極材料膜形成工序中，將上述電極材料膜形成為多層。

3.根據權利要求2所述的太陽能電池的制造方法，

在上述電極材料膜形成工序中，以使上述電極材料膜的多層中的與上述第1導電型半導體層和上述第2導電型半導體層接觸的第1層的膜厚比第2層以后的層的膜厚薄的方式形成上述電極材料膜。

4.根據權利要求3所述的太陽能電池的制造方法，

在上述電極材料膜形成工序中，以使上述電極材料膜的多層中的與上述第1導電型半導體層和上述第2導電型半導體層接觸的第1層的膜厚成為第2層以后的層的膜厚的1/2倍以下的方式形成上述電極材料膜。

5.一種太陽能電池，是背面電極型的太陽能電池，具備：半導體基板，其在2個主面中的至少背面側具有凹凸結構；第1導電型半導體層和第1電極層，其按順序層疊在上述半導體基板的上述背面側的一部分；以及第2導電型半導體層和第2電極層，其按順序層疊在上述半導體基板的上述背面側的另一部分，

上述太陽能電池的特征在于，

上述第1電極層和上述第2電極層是透明電極層，

上述第1電極層和上述第2電極層呈在第1方向上延伸的帶狀，并在第2方向上排列，上述第2方向是沿著上述半導體基板的一邊部的方向，上述第1方向是與上述第2方向垂直的方向，

在相鄰的上述第1電極層與上述第2電極層之間存在上述第1電極層和上述第2電極層的電極材料的殘渣，

上述殘渣的一部分是反映了上述半導體基板的凸部的一部分的形狀且在上述第1方向上相連。

6.根據權利要求5所述的太陽能電池，

上述凸部是四棱錐形狀，

反映了上述凸部的一部分的形狀在從上述背面側正面觀看時為三角形狀。

7.根據權利要求5或6所述的太陽能電池，

上述第1電極層和上述第2電極層是多層結構，

上述多層結構中的與上述第1導電型半導體層和上述第2導電型半導體層接觸的第1層的膜厚是第2層以后的層的膜厚的1/2倍以下。

8.根據權利要求5或6所述的太陽能電池，

上述第1電極層和上述第2電極層的電極材料是導電性氧化物。

9.根據權利要求7所述的太陽能電池，

上述第1電極層和上述第2電極層的電極材料是導電性氧化物。

10.一種太陽能電池模塊，其特征在于，

具備權利要求5～9中的任意一項所述的太陽能電池。