[發(fā)明專(zhuān)利]圖像取得裝置和圖像取得方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880055846.1
• 申請(qǐng)日: 2018-05-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111033352B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高橋聰;河島孝之;須須木仁一
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G02B21/36
• 分類(lèi)號(hào): G02B21/36
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種圖像取得裝置，其中，

具備：

平臺(tái)，其保持試樣；

光出射部，其出射瞬時(shí)光；

導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)，其包含以與所述平臺(tái)上的所述試樣相對(duì)的方式配置的物鏡；

驅(qū)動(dòng)部，其使所述試樣在與所述物鏡的光軸交叉的掃描方向上以規(guī)定速度移動(dòng)；

二維攝像元件，其通過(guò)與所述光出射部和所述驅(qū)動(dòng)部的協(xié)作，從而由道掃描對(duì)被所述導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)導(dǎo)光的所述試樣的光學(xué)圖像進(jìn)行攝像，并取得由多個(gè)平鋪圖像列構(gòu)成的觀察圖像數(shù)據(jù)；

控制部，其控制所述光出射部、所述驅(qū)動(dòng)部和所述二維攝像元件所進(jìn)行的所述道掃描的執(zhí)行；以及

判斷部，其對(duì)在一根道中取得的所述平鋪圖像列所包含的平鋪圖像的圖像數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，判斷所述圖像數(shù)是否達(dá)到預(yù)先設(shè)定的取得預(yù)定數(shù)，

所述控制部在根據(jù)所述判斷部判斷為所述圖像數(shù)未達(dá)到所述取得預(yù)定數(shù)的情況下，再執(zhí)行對(duì)所述一根道的道掃描。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像取得裝置，其中，

所述控制部在再執(zhí)行所述道掃描時(shí)，將所述平臺(tái)的移動(dòng)速度設(shè)定為比所述規(guī)定速度慢的速度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的圖像取得裝置，其中，

進(jìn)一步具備檢測(cè)所述平臺(tái)的位置的位置檢測(cè)部，

所述控制部基于由所述位置檢測(cè)部生成的所述平臺(tái)的位置信息，使所述二維攝像元件的攝像與所述光出射部的所述瞬時(shí)光的出射同步。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的圖像取得裝置，其中，

所述判斷部每當(dāng)所述一根道中的攝像的結(jié)束時(shí)對(duì)平鋪圖像列所包含的平鋪圖像的圖像數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的圖像取得裝置，其中，

所述判斷部在所有的道中的攝像的結(jié)束后對(duì)各平鋪圖像列所包含的平鋪圖像的圖像數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。

6.一種圖像取得方法，其中，

包括：

定位步驟，以物鏡的視野位置位于道掃描的開(kāi)始位置的方式，將保持有試樣的平臺(tái)相對(duì)于所述物鏡進(jìn)行定位；

攝像步驟，其一邊使所述平臺(tái)在所述道掃描的掃描方向上以規(guī)定速度移動(dòng)，一邊與瞬時(shí)光的照射同步地通過(guò)二維攝像元件對(duì)所述試樣的光學(xué)圖像進(jìn)行攝像，取得由多個(gè)平鋪圖像列構(gòu)成的觀察圖像數(shù)據(jù)；

判斷步驟，其對(duì)在一根道中取得的所述平鋪圖像列所包含的平鋪圖像的圖像數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，判斷所述圖像數(shù)是否達(dá)到預(yù)先設(shè)定的取得預(yù)定數(shù)；以及

再執(zhí)行步驟，其在所述判斷步驟中判斷為所述圖像數(shù)未達(dá)到所述取得預(yù)定數(shù)的情況下，再執(zhí)行對(duì)所述一根道的道掃描。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖像取得方法，其中，

在所述再執(zhí)行步驟中，將所述平臺(tái)的移動(dòng)速度設(shè)定為比所述規(guī)定速度慢的速度。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的圖像取得方法，其中，

進(jìn)一步具備檢測(cè)所述平臺(tái)的位置的位置檢測(cè)步驟，

在所述攝像步驟中，基于由所述位置檢測(cè)步驟生成的所述平臺(tái)的位置信息，使所述二維攝像元件的攝像與所述瞬時(shí)光的出射同步。

9.根據(jù)權(quán)利要求6～8中任一項(xiàng)所述的圖像取得方法，其中，

在所述判斷步驟中，每當(dāng)所述一根道中的攝像的結(jié)束時(shí)對(duì)平鋪圖像列所包含的平鋪圖像的圖像數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。

10.根據(jù)權(quán)利要求6～8中任一項(xiàng)所述的圖像取得方法，其中，

在所述判斷步驟中，在所有的道中的攝像的結(jié)束后對(duì)各平鋪圖像列所包含的平鋪圖像的圖像數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。