[發明專利]微機械裝置和相應的制造方法

有效

• 申請號: 201880051381.2
• 申請日: 2018-07-30
• 公開（公告）號: CN110997555B
• 公開（公告）日: 2023-09-26
• 發明（設計）人: R·施特勞布;T·施泰格特;S·平特;J·巴德爾;N·肖爾
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: B81B7/00
• 分類號: B81B7/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.微機械裝置（1），包括：具有前側（V）和后側（R）的基礎襯底（2）；罩襯底（2a），其中，在所述基礎襯底（2）的所述前側（V）中構造具有不平整的側壁（3a）的至少一個環繞的溝槽（3）；其中，所述基礎襯底（2）的所述前側（V）和所述溝槽（3）涂覆有至少一個金屬層（4、4a）；其中，所述溝槽（3）的所述不平整的側壁（3a）不一致地被金屬（4、4a）覆蓋，使得所述不平整的側壁在垂直于所述前側（V）走向的方向上不形成電流路徑；并且，其中，在所述溝槽（3）的區域中在所述基礎襯底（2）和所述罩襯底（2a）之間構造有密封玻璃封閉部（5），其中，所述密封玻璃封閉部（5）完全覆蓋所述溝槽（3）。

2.根據權利要求1所述的微機械裝置（1），其中，所述金屬層（4、4a）具有從以下組中選出的至少一種金屬，該組由鋁、銀和金組成。

3.根據權利要求1或2所述的微機械裝置（1），其中，所述基礎襯底（2）的所述前側和所述溝槽（3）涂覆有兩個不同的金屬層（4、4a）。

4.根據權利要求3所述的微機械裝置（1），其中，所述基礎襯底（2）的所述前側和所述溝槽（3）涂覆有由銀組成的金屬層（4），在該金屬層上施加有由鋁組成的金屬層（4a）。

5.根據權利要求1或2所述的微機械裝置（1），其中，所述溝槽（3）具有10微米至100微米的寬度和20微米至200微米的深度。

6.根據權利要求1或2所述的微機械裝置（1），其中，所述溝槽（3）的所述不平整的側壁（3a）具有多個切口。

7.根據權利要求6所述的微機械裝置（1），其中，所述切口具有1微米至10微米的深度。

8.用于制造微機械裝置（1）的方法，具有以下步驟：

提供具有前側（V）和后側（R）的基礎襯底（2）；提供罩襯底（2a），其中，在所述基礎襯底（2）的所述前側（V）中構造具有不平整的側壁（3a）的至少一個環繞的溝槽（3）；所述基礎襯底（2）的所述前側（V）和所述溝槽（3）涂覆有至少一個金屬層（4、4a），其中，所述溝槽（3）的所述不平整的側壁（3a）不一致地被金屬（4、4a）覆蓋，使得所述不平整的側壁在垂直于所述前側（V）走向的方向上不形成電流路徑；并且，其中，在所述溝槽（3）的區域中在所述基礎襯底（2）和所述罩襯底（2a）之間構造密封玻璃封閉部（5），其中，所述密封玻璃封閉部（5）完全覆蓋所述溝槽（3）。