[發(fā)明專利]氣罐閥門自動(dòng)開(kāi)閉裝置及其方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880050350.5
• 申請(qǐng)日: 2018-08-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110892190B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金斗喆;李種聲;崔元鎬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: AMT株式會(huì)社
• 主分類號(hào): F17C13/04
• 分類號(hào): F17C13/04;F17C13/12
• 代理公司: 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11228
• 代理人: 關(guān)宇辰

本發(fā)明涉及將裝載于柜上的氣罐與供氣管線自動(dòng)連接的氣罐閥門自動(dòng)開(kāi)閉裝置及其方法，將端帽從裝載于柜中的氣罐上分離以后，與氣體輸送管線連接，然后開(kāi)放閥門手柄，將氣罐內(nèi)的氣體向氣體輸送管線輸送的過(guò)程中氣體泄漏時(shí)，不僅在非停電，停電時(shí)也可以將開(kāi)放的氣體噴嘴迅速地自動(dòng)關(guān)閉。為此，本發(fā)明的特征是，其組成結(jié)構(gòu)包括：被可升、降地設(shè)置的主板（11）和；設(shè)置于所述主板（11）的下部，使端帽（62）從氣罐（60）上分離后，使連接器座（28）自動(dòng)螺旋轉(zhuǎn)結(jié)合于氣體噴嘴（64）的氣罐連接部（20）和；以第一軸（55）為中心旋轉(zhuǎn)地設(shè)置于所述主板（11）上，使閥門手柄（61）向順時(shí)針或逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)的閥門手柄裝置（50）和；設(shè)置于所述主板（11）的上部使將氣罐（60）的閥門（63）自動(dòng)開(kāi)閉的閥門手柄裝置（50）啟動(dòng)的閥門手柄開(kāi)閉裝置（40）。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及將裝載（loading）于柜（cabinet）上的氣罐與供氣管線自動(dòng)連接的氣罐閥門自動(dòng)開(kāi)閉裝置及其方法，具體是，將端帽從裝載于柜中的氣罐上分離以后，與供氣管線連接，然后開(kāi)放閥門手柄，將氣罐內(nèi)的氣體向供氣管線輸送的過(guò)程中氣體泄漏時(shí)，不僅在非停電，在停電時(shí)也可以將開(kāi)放的氣體噴嘴迅速地自動(dòng)關(guān)閉的氣罐閥門自動(dòng)開(kāi)閉裝置及其方法。

背景技術(shù)

通常制造半導(dǎo)體的制造工藝中，根據(jù)用途將不同種類的氣體供應(yīng)使用，這些氣體大部分被人體吸入或者暴露在空氣中，容易引起安全事故和環(huán)境污染等各種傷害，故需要小心謹(jǐn)慎。

例如，用于離子注入工藝的氣體種類包括砷化氫（AsH3：Arsine）、磷化氫（PH3：Phosphine）或三氟化硼（BF3：Boron Fluoride）等有毒氣體，這些氣體的毒性極強(qiáng)，被作業(yè)人員吸入呼吸道時(shí)，其結(jié)果是致命的，因此在生產(chǎn)線上輸送的過(guò)程中應(yīng)細(xì)心管理，謹(jǐn)防泄漏。

如上所述，用于半導(dǎo)體制造工藝的氣體的管理極其重要，而這些氣體是被高壓填充到氣罐內(nèi)后裝在柜內(nèi)，通過(guò)供氣管線被輸送至生產(chǎn)線，約90%左右的氣體被耗盡以后，為了避免氣罐內(nèi)殘留的異物進(jìn)入晶圓制造工藝，作業(yè)人員用新的氣罐更換使用。

圖1是顯示現(xiàn)有的氣罐的透視圖，現(xiàn)有的用于半導(dǎo)體制造的氣罐200的結(jié)構(gòu)包括：容器主體210、容器頸230、氣體噴嘴（Nozzle）250、端帽（End cap）290以及主閥門（Mainvalve）270。

所述容器主體210呈圓筒狀，用于填充和貯存用于半導(dǎo)體制造工藝的氣體，容器頸230是從容器主體210的一端部延長(zhǎng)規(guī)定長(zhǎng)度而成的部分，呈管狀，具有閘門（Gate）的作用，使氣體排出至容器主體210。

氣體噴嘴250與容器頸230同樣，呈管狀，一端部裝配在連接于容器主體210的容器頸230上，所述容器頸230任意連接于外部氣體管線（圖示省略）。

端帽290具有蓋形狀，裝配在與氣體噴嘴250的另一端部即氣體噴嘴250連接于外部氣體管線的部分，對(duì)氣體噴嘴250具有密封作用。

閥門手柄270呈“T”字狀，裝配在氣體噴嘴250和容氣頸230連接的部分，氣體排出到容器主體210時(shí)，將氣體噴嘴250開(kāi)放，控制氣體的流動(dòng)。

如上所述構(gòu)成的現(xiàn)有的氣罐200是裝在容器主體210中的氣體每次被耗盡時(shí)，均由作業(yè)人員來(lái)更換，此時(shí)作業(yè)人員首先將氣體被耗盡的氣罐200從外部的氣體管線上分離。

然后作業(yè)人員準(zhǔn)備新的氣罐，將新氣罐的氣體噴嘴上裝配的端帽分離后，將所述氣罐重新連接到外部的氣體管線上，然后打開(kāi)（Open）關(guān)閉著氣體噴嘴的閥門手柄即可完成氣罐的更換。

圖2是簡(jiǎn)略顯示利用現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體裝備供氣裝置的透視圖，F(xiàn)AB7外部的規(guī)定場(chǎng)所設(shè)有可以安放FAB7內(nèi)的各種裝備8所需的SiH4、PH3、NF3、CF4等工程氣體被分別充填的多個(gè)氣罐（省略圖示）的柜1，所述柜1的一側(cè)設(shè)有可以引導(dǎo)分別連接于所述氣罐2的供氣管線3的管道4。