[發明專利]射頻匹配網絡中用于頻率調諧輔助雙電平脈沖的輔助電路

有效

• 申請號: 201880037634.0
• 申請日: 2018-04-03
• 公開（公告）號: CN110945622B
• 公開（公告）日: 2023-09-12
• 發明（設計）人: 王雨后;亞瑟·H·薩托;吳垠;亞歷山大·米勒·帕特森
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 李獻忠;張靜

1.一種射頻匹配電路控制系統，其包括：

包括多個可調諧部件的射頻匹配電路，其中，所述射頻匹配電路被配置為從射頻發生器接收輸入信號，其中所述輸入信號包括至少兩種脈沖電平，

根據所述輸入信號向負載提供輸出信號，以及

使與所述輸入信號相關聯的阻抗與所述負載的阻抗匹配；以及控制器，其被配置為針對所述輸入信號的所述至少兩種脈沖電平確定所述負載的相應的阻抗，并且

調節所述多個可調諧部件的操作參數，以針對所述至少兩種脈沖電平使所述射頻匹配電路的頻率調諧范圍與所述負載的所述相應的阻抗對準，從而使與所述輸入信號相關聯的所述阻抗與所述相應的阻抗匹配，其中為了調節所述操作參數，所述控制器被配置成：

響應于以第一脈沖電平提供的所述輸入信號，基于針對所述第一脈沖電平確定的第一阻抗，調整所述多個可調諧部件中的第一可調諧部件的第一操作參數，以及

響應于以第二脈沖電平提供的所述輸入信號，基于針對所述第二脈沖電平確定的第二阻抗，調整多個可調諧部件中的第二可調諧部件的第二操作參數，

其中所述第一操作參數對應于所述射頻匹配電路的第一電容器的第一電容和第二電容器的第二電容中的至少一者，

其中所述第二操作參數對應于第三電容器的第三電容，并且

其中，為了使所述射頻匹配電路的所述頻率調諧范圍與所述第一和第二阻抗兩者對準，所述控制器被配置為(i)調整所述第一電容和所述第二電容中的所述至少一者以使所述頻率調諧范圍在平移方向上移位，以及(ii)調整所述第三電容以使所述頻率調諧范圍在旋轉方向上移位以調整所述頻率調諧范圍的斜率。

2.根據權利要求1所述的射頻匹配電路控制系統，其中，所述第一電容器對應于連接在所述輸入信號與地之間的并聯電容器。

3.根據權利要求2所述的射頻匹配電路控制系統，其中，所述第二電容器對應于連接在所述輸入信號與所述負載之間的串聯電容器。

4.根據權利要求3所述的射頻匹配電路控制系統，其中，所述第三電容器連接在(i)所述第二電容器的與所述負載連接的端部與(ii)地之間。

5.根據權利要求4所述的射頻匹配電路控制系統，其中，所述操作參數還包括與電感器的電感值相對應的第三操作參數。

6.根據權利要求5所述的射頻匹配電路控制系統，其中，所述電感器與所述第三電容器并聯連接。

7.根據權利要求4所述的射頻匹配電路控制系統，其中，為了調節所述第一操作參數，所述控制器被配置為(i)確定所述第一電容和所述第二電容的相應值，以針對所述至少兩種脈沖電平中的第一脈沖電平減小與所述負載的所述阻抗相關聯的反射功率；以及(ii)基于所確定的所述相應值來調節所述第一電容器和所述第二電容器中的至少一者。

8.根據權利要求4所述的射頻匹配電路控制系統，其中，為了調節所述第二操作參數，所述控制器被配置為：(i)確定所述第三電容的值，以針對所述至少兩種脈沖電平中的第二脈沖電平減小與所述負載的所述阻抗相關聯的反射功率；以及(ii)將所述第三電容器調節至所述第三電容的所確定的所述值。

9.一種襯底處理系統，其包括權利要求1所述的RF匹配電路控制系統。

10.根據權利要求9所述的襯底處理系統，其中，所述負載對應于襯底處理室內的電極、感應線圈結構和等離子體中的至少一個。