[發明專利]致動器、閥、流體供給系統、以及半導體制造裝置

有效

• 申請號: 201880037514.0
• 申請日: 2018-06-22
• 公開（公告）號: CN110730869B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 三浦尊;筱原努;中田知宏;稻田敏之;渡邊一誠;近藤研太;佐藤秀信;湯原知子
• 申請（專利權）人: 株式會社富士金
• 主分類號: F15B15/14
• 分類號: F15B15/14;F16K31/122;H01L21/31
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 張晶;謝順星

1.一種致動器，具備：

殼體；

減壓閥，設置于所述殼體內，將從外部供給的驅動流體的壓力減壓至預定壓力；以及

活塞，設置于所述殼體內并與所述殼體一起形成壓力室，通過被減壓的所述預定壓力的驅動流體進行驅動，

構成為：

所述殼體形成有第一插入孔、以及與所述第一插入孔同軸的第二插入孔，所述第一插入孔與所述第二插入孔彼此連通，所述第一插入孔的開口側及所述第二插入孔的開口側形成有內螺紋部；

所述減壓閥具備設置于所述第二插入孔的提動部、設置于所述第一插入孔的減壓部；

所述提動部具有第一彈簧按壓件、提動件、第一彈簧、第一固定螺絲；

所述減壓部具有第二彈簧按壓件、減壓活塞、第二彈簧、第二固定螺絲；

所述第一彈簧按壓件以能夠滑動移動的方式插入至所述第二插入孔，所述第二插入孔中的比所述第一彈簧按壓件更靠內側的空間構成驅動流體所流入的流入室；

所述提動件位于所述流入室內，并具有：提動件本體，相對于所述殼體中的所述第一插入孔與第二插入孔連通的部分的周緣部進行抵接及遠離；以及桿，從所述提動件本體的前端朝向所述第一插入孔內延伸；

所述第一彈簧設置于所述第一彈簧按壓件與所述提動件之間，對所述提動件朝向所述減壓部施力；

所述第一固定螺絲與所述第二插入孔的所述內螺紋部螺紋結合，將所述第一彈簧按壓件支承于所述殼體；

所述第二彈簧按壓件以能夠滑動移動的方式插入至所述第一插入孔；

所述減壓活塞以能夠移動的方式設置于比所述第二彈簧按壓件更靠所述第一插入孔的內側，所述第一插入孔中的比所述減壓活塞更靠內側的空間構成驅動流體所流入的減壓室，所述桿的前端抵接于所述減壓活塞；

所述第二彈簧設置于所述第二彈簧按壓件與所述減壓活塞之間，對所述減壓活塞朝向所述提動部施力；

所述第二固定螺絲與所述第一插入孔的所述內螺紋部螺紋結合，將所述第二彈簧按壓件支承于所述殼體；

所述第一彈簧及所述第二彈簧的作用力設定為：在驅動流體未流入至所述流入室及所述減壓室，或驅動流體的流入導致的所述減壓室的升壓不夠充分的狀態下，所述提動件本體遠離所述周緣部，而所述流入室與所述減壓室連通；

如果所述減壓室的壓力由于來自所述流入室的驅動流體的流入而上升，則所述減壓活塞克服所述第二彈簧的作用力朝向所述第二彈簧按壓件側移動，如果所述減壓室的壓力為所述預定壓力，則所述提動件本體抵接于所述周緣部，所述流入室與所述減壓室的連通切斷。

2.根據權利要求1所述的致動器，其特征在于，

所述殼體內還具備：止回閥，在將驅動流體導入至所述壓力室時會成為閉狀態，在將驅動流體從所述壓力室排出至外部時會成為開狀態，將來自所述壓力室的驅動流體排出至外部。

3.根據權利要求2所述的致動器，其特征在于，

在所述殼體中，在所述止回閥的正上方，形成有用于使朝向所述止回閥的驅動流體、或來自所述止回閥的驅動流體流動的驅動流體通路。