[發明專利]用于與刷子無線通信的方法和設備

在審

• 申請號: 201880035907.8
• 申請日: 2018-05-24
• 公開（公告）號: CN110720136A
• 公開（公告）日: 2020-01-21
• 發明（設計）人: 布拉德利·斯科特·威瑟斯;科里·艾倫·休斯;埃里克·斯科特·納爾遜;史蒂芬·肯尼斯·克里斯蒂;布倫特·艾倫·貝斯特
• 申請（專利權）人: 伊利諾斯工具制品有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 31259 上海脫穎律師事務所
• 代理人: 脫穎

1.一種用于清潔半導體晶片的表面的刷子，所述刷子包括：

中心核心；

清潔材料，所述清潔材料處于所述中心核心周圍；以及

無線裝置，所述無線裝置與所述刷子相關聯。

2.根據權利要求1所述的刷子，其中所述無線裝置是無源RFID標簽。

3.根據權利要求1所述的刷子，其中所述無線裝置(410)附接到所述刷子或嵌入在所述刷子中。

4.根據權利要求1所述的刷子，其中所述無線裝置包括存儲器，并且所述存儲器的至少一部分被配置為提供寫入存取和讀取存取。

5.根據權利要求1所述的刷子，其中所述無線裝置包括存儲器，并且所述存儲器的至少一部分是單次寫入存儲器。

6.根據權利要求1所述的刷子，其中所述無線裝置包括存儲器，并且所述無線裝置被配置為接收命令以禁用對所述存儲器的至少一部分的寫入存取。

7.根據權利要求1所述的刷子，其中所述無線裝置包括存儲器，并且所述存儲器被配置為存儲刷子特性數據。

8.根據權利要求7所述的刷子，其中所述刷子特性數據包括以下各者中的一個或更多個：刷子識別號碼、批次號碼、產品識別碼、刷子大小、調節歷史、污染概況或指示將用于調節所述刷子的調節過程的信息。

9.根據權利要求1所述的刷子，其中所述刷子被配置為與以下各者中的一個或更多個一起使用：離線刷子調節系統、刷子監測系統或化學機械平坦化系統。

10.一種用于與被配置為清潔半導體晶片的表面的刷子通信的方法，所述方法包括：

通過電子裝置與無線裝置通信以執行將第一數據寫入到所述無線裝置中的存儲器以及從所述無線裝置中的所述存儲器讀取第二數據中的一者或兩者，其中所述無線裝置與所述刷子相關聯。

11.根據權利要求10所述的方法，所述方法還包括：通過所述電子裝置傳輸與將存儲在所述無線裝置中的所述刷子相關聯的刷子特性數據。

12.一種離線刷子調節系統，所述系統包括：

第一調節室，所述第一調節室被配置為調節第一刷子；

RFID模塊，所述RFID模塊被配置為與至少一個RFID標簽通信，其中所述至少一個RFID標簽包括對應于所述第一刷子的第一RFID標簽；以及

第一RFID天線，所述第一RFID天線被配置為傳輸和接收用于在所述RFID模塊與所述第一RFID標簽之間通信的信號。

13.根據權利要求12所述的系統，其中所述第一RFID天線安裝在所述第一調節室外。

14.根據權利要求12所述的系統，其中所述第一RFID天線和所述第一調節室被配置為允許所述第一RFID天線僅與所述至少一個RFID標簽中的所述第一RFID標簽通信。

15.根據權利要求12所述的系統，所述系統還包括：具有第二RFID天線的第二調節室，其中當在所述第二調節室中存在具有對應的第二RFID標簽的第二刷子時，所述第一RFID天線與所述第一RFID標簽之間的所述通信實質上并不干擾所述第二RFID天線與所述第二RFID標簽之間的通信，并且所述第二RFID天線與所述第二RFID標簽之間的所述通信實質上并不干擾所述第一RFID天線與所述第一RFID標簽之間的所述通信。

16.根據權利要求12所述的系統，其中所述第一調節室被配置為基于來自所述第一RFID標簽的信息來調節所述第一刷子。