[發(fā)明專利]體聲波濾波器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201880034665.0 | 申請日： | 2018-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN110785929B | 公開（公告）日： | 2023-10-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李源祥 | 申請（專利權(quán)）人： | RFHIC公司 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02;H03H9/15 |
| 代理公司： | 北京市立方律師事務(wù)所 11330 | 代理人： | 謝玉斌;周永佳 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 聲波 濾波器 | ||
提供了一種用于使預(yù)設(shè)頻率范圍內(nèi)的電信號通過的體聲波(BAW)濾波器(130)。BAW濾波器(130)包括：金剛石基板(114)；鈍化層(111)，其形成在所述金剛石基板(114)上；第一金屬層(110)，其形成在所述鈍化層(111)上；壓電層(104')，其形成在所述第一金屬層(110)上；第二金屬層(116)，其形成在壓電層(104')上；金屬焊盤(120)，其形成在所述第一金屬層(110)上。所述金屬焊盤(120)、所述第一金屬層(110)、所述壓電層(104')和所述第二金屬層(116)形成電路徑，該電路徑允許預(yù)設(shè)頻率范圍內(nèi)的電信號通過。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及射頻(RF)信號濾波器，更具體地，涉及體聲波(BAW)濾波器以及制造該體聲波濾波器的方法。
背景技術(shù)
可以去除不需要的頻率范圍內(nèi)的信號的BAW濾波器通常用于各種無線頻率通信設(shè)備中，例如移動電話。隨著各種功能被添加到移動設(shè)備的同時移動設(shè)備的尺寸和重量被減小，現(xiàn)代移動設(shè)備需要具有減小形狀的因數(shù)和增強(qiáng)品質(zhì)的因數(shù)的BAW濾波器。因此，在過去的十年中，體聲波(BAW)濾波器技術(shù)一直在迅速發(fā)展，以滿足通信設(shè)備的需求。
通常，BAW濾波器具有在硅、砷化鎵或玻璃基板上制造的BAW諧振器。在操作期間，BAW諧振器可能產(chǎn)生需要通過基板排放到BAW濾波器外部的熱能。如果熱能未被適當(dāng)?shù)嘏欧牛瑒t其可能會影響B(tài)AW濾波器的諧振頻率、整體性能和耐用性。傳統(tǒng)基板的熱特性可能不適合從BAW諧振器中有效地去除熱能，使得BAW濾波器可能無法用于產(chǎn)生大量熱能的設(shè)備中。
圖10A和圖10B示出了形成傳統(tǒng)BAW濾波器1000的過程。如圖所示，壓電層1004沉積在硅晶片1002上，并且第一金屬層1006沉積在壓電層1004上。由于硅具有相對低的聲波速度，所以需要去除壓電層1004的操作區(qū)域下方的硅晶片的一部分1010，使得壓電層1004與第一金屬層1006和第二金屬層1008直接接觸(即，BAW濾波器具有獨立式配置)。該過程增加了制造過程。而且，傳統(tǒng)的制造過程使用濺射技術(shù)在硅晶片1002上沉積壓電層1004。然而，當(dāng)使用濺射技術(shù)時，如果壓電層1004的厚度小于100埃，則很難控制壓電層1004的厚度和均勻性。
這樣，需要一種BAW濾波器，該BAW濾波器具有一種以有效方式從BAW濾波器中釋放熱能的機(jī)構(gòu)，同時在不損害壓電層質(zhì)量的情況下降低了BAW濾波器的制造成本。
發(fā)明內(nèi)容
在實施例中，一種體聲波(BAW)濾波器包括：金剛石基板；鈍化層，所述鈍化層形成在所述金剛石基板上；第一金屬層，所述第一金屬層形成在所述鈍化層上；壓電層，所述壓電層形成在所述第一金屬層上；第二金屬層，所述第二金屬層形成在壓電層上；以及金屬焊盤，所述金屬焊盤形成在所述第一金屬層上。所述金屬焊盤、所述第一金屬層、所述壓電層和所述第二金屬層形成電路徑，該電路徑允許預(yù)設(shè)頻率范圍內(nèi)的電信號通過。
在實施例中，一種制造體聲波濾波器的方法包括：形成壓電層；在所述壓電層的第一表面上形成第一金屬層；在所述第一金屬層上形成第一鈍化層；在所述第一鈍化層上形成金剛石基板；在所述壓電層的第二表面上形成第二金屬層；去除所述壓電層的一部分以暴露所述第一金屬層的一部分；以及在所述第一金屬層的暴露部分上形成金屬焊盤。
附圖說明
將參考本發(fā)明的實施例，其示例可以在附圖中示出。這些附圖是說明性的，而非限制性的。盡管在這些實施例的上下文中一般地描述了本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)理解，其并不旨在將本發(fā)明的范圍限制為這些特定實施例。
圖1至圖7示出了根據(jù)本公開的實施例的用于形成BAW濾波器的示例性過程。
圖8是根據(jù)本公開的實施例的圖7中的BAW濾波器的俯視圖。
圖9示出了根據(jù)本公開的實施例的用于制造BAW濾波器的示例性過程的流程圖。
圖10A和圖10B示出了用于形成傳統(tǒng)BAW濾波器的過程。
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