[發明專利]X射線檢查裝置

有效

• 申請號: 201880015777.1
• 申請日: 2018-03-20
• 公開（公告）號: CN110383051B
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發明（設計）人: 長野雅実;鶴祥司
• 申請（專利權）人: 東芝IT·控制系統株式會社
• 主分類號: G01N23/046
• 分類號: G01N23/046
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 張曉霞;臧建明

本發明提供一種X射線檢查裝置，其可制作僅CT圖像的再構成所需要的區域的X射線透視圖像。圖像獲取部(71)從X射線檢測器(3)中獲取用于判定視場缺失區域的基準圖像與成為修剪的對象的工件的圖像。平均亮度值計算部(72)計算基準圖像中的無視場缺失的圖像的平均亮度值。視場缺失區域判定部(73)針對所拍攝的透視圖像，將具有未滿平均亮度值計算部(72)所計算的平均亮度值的閾值的亮度的像素判定為視場缺失區域。修剪圖像獲取部(75)從拍攝工件所得的圖像中，獲取視場缺失區域以外的X射線透視圖像。再構成處理部(8)根據視場缺失區域以外的X射線透視圖像，再構成CT圖像。

技術領域

本發明的實施方式涉及一種在拍攝圖像的周圍不產生視場缺失的X射線檢查裝置。

背景技術

X射線檢查裝置包含X射線的照射源、載置檢查對象物(以下，稱為工件)的工作臺、及接收透過了工件的X射線的X射線檢測器。從照射源中發出的X射線呈圓錐狀地擴大并到達工件，穿過工件后也進一步擴大并到達X射線檢測器。X射線與從X射線源至檢測器為止的距離(焦點至檢測器距離(Focus to Detector Distance，FDD))的平方成比例地衰減。另一方面，計算機斷層掃描(Computed Tomography，CT)圖像的拍攝倍率是FDD除以從X射線源至載置拍攝對象物的試樣臺的中心為止的距離(焦點至中心距離(Focus to CenterDistance，FCD))所得的值。因此，為了以所期望的拍攝倍率，且以高線量拍攝信噪比(Signal/Noise，S/N)良好的CT圖像，只要維持拍攝倍率并減小FDD與FCD即可。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2016-118394號公報

發明內容

發明所要解決的問題

但是，若減小FDD，則產生由X射線照射角所引起的視場缺失，即X射線未照射在檢測器的范圍。越使用大的檢測器，越容易產生視場缺失。在存在視場缺失的狀態下，CT圖像的拍攝產生如下的問題。

(1)在CT圖像的再構成時，需要將X射線源與試樣臺的中心連結的直線位于檢測器的何處這一信息。當根據從360°方向所拍攝的X射線透視圖像的對稱性(0°～180°與180°～360°)來求出所述信息時，視場缺失部分成為障礙，存在無法正確地求出的情況。視場缺失部分由于亮度大致固定且對稱性良好，因此對透視圖像原來的對稱性判斷造成大的影響。

(2)即便在正確地求出將X射線源與試樣臺的中心連結的直線，可再構成CT圖像的情況下，在再構成處理后的CT圖像的圓周方向也出現視場缺失部分，而變成連X射線照射角以外的不需要的部分都包含的X射線透視圖像、CT圖像。因此，在圖像處理方面，產生如下的問題。

例1：當想要從CT圖像中自動地提取拍攝對象物部分時，將對象物的平均亮度值用于閾值的情況多，但有時連視場缺失區域都看作對象物。

例2：當根據CT圖像來制作三維數據時，在CT圖像的圓周方向存在視場缺失部分，因此變成如可在外側看見視場缺失部分的三維數據。

在如以上那樣照射角比檢測器的光接收面積大的情況下，即便使檢測器接近X射線源，光接收面積的整個區域也納入X射線的照射范圍內，因此不存在視場缺失的問題，但在照射角小的情況下，若減小FDD，則產生伴隨視場缺失的各種問題。因此，以往在檢查對象小型且需要大的擴大率等要求小的FDD的情況下，不使用大的檢測器而使用小的FDD專用的小的檢測器，由此不產生視場缺失。

另外，如專利文獻1中記載的那樣，對利用X射線所拍攝的圖像的一部分進行修剪本身已為人所知，但這些現有技術只不過是用戶從拍攝圖像中提取所期望的區域的技術，無法應用于減小檢測器的FDD時的視場缺失的消除。