[發(fā)明專利]具有改進的頻率性能的測試頭有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201880013813.0 | 申請日： | 2018-02-22 |
| 公開（公告）號： | CN110337592B | 公開（公告）日： | 2022-07-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 羅伯特·克里帕;弗拉維奧·馬焦尼 | 申請（專利權(quán)）人： | 泰克諾探頭公司 |
| 主分類號： | G01R1/073 | 分類號： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京商專永信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 方挺;黃謙 |
| 地址： | 意大*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 改進 頻率 性能 測試 | ||
1.一種測試頭(10)，適于校驗集成在半導(dǎo)體晶片上的待測試器件(16)的功能性，所述測試頭(10)包括：
至少一個導(dǎo)引件(14，13，24)，所述至少一個導(dǎo)引件(14，13，24)設(shè)置有多個容納導(dǎo)引孔(14A，13A，24A)；以及
容納在所述多個容納導(dǎo)引孔(14A，13A，24A)中的至少第一組垂直接觸探針(20A)和第二組垂直接觸探針(20B)，所述垂直接觸探針(20A，20B)中的每個接觸探針都包括在第一端部(12A)和第二端部(12B)之間延伸的主體(12C)，所述至少一個導(dǎo)引件(14，13，24)至少包括導(dǎo)電部分(22，23，24)，
所述測試頭(10)特征在于：
所述導(dǎo)電部分(22，23，24)包括至少一組所述容納導(dǎo)引孔(14A，13A，24A)，所述導(dǎo)電部分(22，23，24)電連接所述第一組垂直接觸探針(20A)，所述第一組垂直接觸探針(20A)在形成于所述導(dǎo)電部分中的所述容納導(dǎo)引孔(14A，13A，24A)中滑動并且適于傳送相同信號，以及
所述第二組垂直接觸探針(20B)中的每一個具有由涂層(21)覆蓋的主體(12C)，所述涂層(21)由絕緣材料制成，以將所述第二組垂直接觸探針(20B)與所述導(dǎo)電部分(22，23，24)絕緣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試頭(10)，其特征在于，所述導(dǎo)電部分(22，23，24)能夠連接至公共信號基準(Vcom)，所述公共信號基準(Vcom)選自接地基準、功率基準或操作信號基準。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試頭(10)，其特征在于，所述導(dǎo)電部分(22，23)對應(yīng)于所述導(dǎo)引件(14，13)的一個面(Fa，F(xiàn)b)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試頭(10)，其特征在于，所述導(dǎo)電部分(22)包括正交部分(22w)，所述正交部分(22w)至少部分地在所述容納導(dǎo)引孔(14A)內(nèi)延伸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試頭(10)，其特征在于，所述導(dǎo)電部分(22，23)完全覆蓋所述導(dǎo)引件(14，13)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試頭(10)，其特征在于，所述導(dǎo)電部分(24)由完全導(dǎo)電導(dǎo)引件(24)制成。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測試頭(10)，其特征在于，所述完全導(dǎo)電導(dǎo)引件(24)從上導(dǎo)引件(13)、下導(dǎo)引件(14)或所述測試頭(10)的另一導(dǎo)引件中選出。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試頭(10)，其特征在于，所述涂層(21)為薄膜的形式，其中該薄膜的厚度小于2μm。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試頭(10)，其特征在于，所述涂層(21)為薄膜的形式，其中該薄膜的厚度小于0.2μm。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試頭(10)，其特征在于，所述涂層(21)由選自聚合物絕緣材料或有機絕緣材料的絕緣材料實現(xiàn)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試頭(10)，其特征在于，所述涂層(21)由選自氮化物、鋁氧化物或氧化鋁或DLC(金剛石輕碳)的高硬度絕緣材料制成。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試頭(10)，其特征在于，所述第二組垂直接觸探針(20B)的所述主體(12C)被所述涂層(21)完全覆蓋，所述涂層(21)沿所述第二組垂直接觸探針(20B)除了所述端部(12A，12B)之外的整個接觸探針延伸。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試頭(10)，其特征在于，所述第二組垂直接觸探針(20B)的所述主體(12C)中只有區(qū)段(12D)被所述涂層(21)完全覆蓋，所述區(qū)段(12D)是在所述測試頭(10)工作期間容納在所述導(dǎo)引件(14,13)的相應(yīng)容納導(dǎo)引孔(14A，13A)中的部分。
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