[實用新型]可調節式探針裝置有效
| 申請號: | 201822268112.1 | 申請日: | 2018-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN209356558U | 公開(公告)日: | 2019-09-06 |
| 發明(設計)人: | 陳相和 | 申請(專利權)人: | 深圳市杰普特光電股份有限公司 |
| 主分類號: | G01R1/073 | 分類號: | G01R1/073 |
| 代理公司: | 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 逯恒 |
| 地址: | 518110 廣東省深圳市龍華區觀湖*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 檢測探針 橫向調節裝置 縱向調節裝置 電路板 可調節式 探針裝置 電學性能檢測 本實用新型 改變檢測 探針 裝置技術領域 可拆卸連接 底座連接 調節方便 檢測位置 可拆卸的 探針臺 底座 制備 探測 | ||
本實用新型涉及電學性能檢測裝置技術領域,尤其是涉及一種可調節式探針裝置。可調節式探針裝置包括底座、第一電路板、橫向調節裝置、第一縱向調節裝置和多根檢測探針;檢測探針與第一電路板可拆卸連接;第一電路板與第一縱向調節裝置連接;第一縱向調節裝置與橫向調節裝置連接;橫向調節裝置與底座連接。本實用新型提供的可調節式探針裝置,通過將檢測探針可拆卸的設置在電路板上,使得既能夠改變檢測探針的數量,又能夠根據檢測探針的安裝位置,改變檢測探針的間距,在進行電學性能檢測時,不需要制備多個探針臺,減少了使用成本;通過縱向調節裝置和橫向調節裝置的設置,使得檢測探針的檢測位置調節方便,增加了探測范圍。
技術領域
本實用新型涉及電學性能檢測裝置技術領域,尤其是涉及一種可調節式探針裝置。
背景技術
隨著互聯網的興起,人類對電子類產品的需求越來越大,尤其是智能設備的需求越來越大。電子產品的種類繁多,對相應的電子檢測設備提出了更大的挑戰,例如薄膜場效應晶體管(TFT),使用到了更為精密的TFT器件電學性能測試儀,該設備的探針臺可實現3維方向調整,可探測不同尺寸的TFT。因此,實用性大的電子產品檢測設備成為時下研究的熱點。
通常的TFT探針臺是由具有彈性的針尖和三維調整基座。該結構中三維調整基座可通過三個旋鈕來調節針尖在立體空間內X軸、Y軸及Z軸方向的位置,從而實現精準調節針尖的踩點位置。
但是,現有的探針臺中,探針安裝較少,在探針損壞或靈敏度降低后,不易更換,往往需要更換探針時,對整個裝置進行更換,使得檢測成本較高。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種可調節式探針裝置,以解決現有技術中存在的技術問題。
本實用新型提供的可調節式探針裝置,包括底座、第一電路板、橫向調節裝置、第一縱向調節裝置和多根檢測探針;
所述檢測探針與所述第一電路板可拆卸連接;
所述第一電路板與所述第一縱向調節裝置連接;
所述第一縱向調節裝置與所述橫向調節裝置連接;
所述橫向調節裝置與所述底座連接。
進一步的,所述第一縱向調節裝置包括縱向調節底板、縱向調節螺桿和縱向調節螺母;
所述縱向調節螺桿轉動設置在所述縱向調節底板上;
所述縱向調節螺母固定設置在所述第一電路板的一側;
所述縱向調節螺桿與所述縱向調節螺母螺紋連接。
進一步的,所述縱向調節螺桿的端部設置有旋轉旋鈕或旋轉把手。
進一步的,所述縱向調節底板上與所述縱向調節螺桿的軸線平行的兩側設置有滑行軌道;
所述第一電路板滑動設置在所述滑行軌道上。
進一步的,所述橫向調節裝置包括橫向調節底板、橫向調節螺桿和橫向調節螺母;
所述橫向調節螺桿轉動設置在所述橫向調節底板上;
所述橫向調節螺母固定設置在所述橫向調節底板遠離所述第一電路板的一側;
所述橫向調節螺桿與所述橫向調節螺桿螺紋連接。
進一步的,所述第一電路板上設置有調節桿;
所述調節桿設置有多個探針調節裝置;
所述檢測探針設置在所述探針調節裝置上。
進一步的,所述探針調節裝置包括調節環和調節螺栓;
所述調節環滑動設置在所述調節桿上;
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