[發明專利]電極具有空隙層的體聲波諧振器、濾波器及電子設備

有效

• 申請號: 201911027009.0
• 申請日: 2019-10-26
• 公開（公告）號: CN111010122B
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 龐慰;徐洋;郝龍;張孟倫;楊清瑞
• 申請（專利權）人: 諾思（天津）微系統有限責任公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02
• 代理公司: 北京金誠同達律師事務所 11651
• 代理人: 湯雄軍

1.一種體聲波諧振器，包括：

基底；

聲學鏡；

底電極；

頂電極；和

壓電層，設置在底電極與頂電極之間，

其中：

底電極和/或頂電極為間隙電極，所述間隙電極具有至少一個空隙層，在所述間隙電極的厚度方向上，所述空隙層與所述間隙電極的頂面與底面均存在距離；

所述間隙電極具有在諧振器的厚度方向上層疊設置且彼此并聯連接的多個電極層，所述空隙層設置在對應的電極層之間；

在所述空隙層的范圍內，限定所述空隙層的電極層彼此分隔開；且

在平行于諧振器的厚度方向的投影中，所述空隙層與所述諧振器的有效區域的重合面積至少為所述有效區域的面積的50%。

2.根據權利要求1所述的諧振器，其中：

所述間隙電極具有一個空隙層。

3.根據權利要求1所述的諧振器，其中：

所述空隙層為空氣間隙層或者真空間隙層。

4.根據權利要求1所述的諧振器，其中：

所述空隙層的厚度在50?-10000?的范圍內。

5.根據權利要求4所述的諧振器，其中：

所述空隙層的厚度在100?-5000?的范圍內。

6.根據權利要求1所述的諧振器，其中：

在諧振器的一個平行于諧振器的厚度方向的截面中，位于對應空隙層的上下兩側的兩個電極層的位于空隙層橫向邊緣的端部彼此電連接。

7.根據權利要求6所述的諧振器，其中：

在諧振器的一個平行于諧振器的厚度方向的截面中，所述兩個電極層的引腳端彼此電連接以及所述兩個電極層的非引腳端彼此電連接。

8.根據權利要求1所述的諧振器，其中：

所述諧振器還包括與空隙層的平面形狀相同的間隙鈍化層，所述間隙鈍化層與所述空隙層層疊，所述間隙鈍化層設置于對應的電極層的頂面，所述空隙層覆蓋所述間隙鈍化層的頂面。

9.根據權利要求1所述的諧振器，其中：

所述間隙電極僅具有兩個電極層以及設置在兩個電極層之間的僅一層空隙層。

10.根據權利要求1所述的諧振器，其中：

所述底電極為間隙電極，且所述空隙層構成所述聲學鏡。

11.根據權利要求10所述的諧振器，其中：

頂電極、底電極、壓電層和空隙層在諧振器的厚度方向上的重疊區域構成諧振器的有效區域；且

所述諧振器還包括設置在基底的聲學空腔，在諧振器的俯視圖中，所述空隙層全面覆蓋所述聲學空腔。

12.根據權利要求1所述的諧振器，其中：

所述頂電極為間隙電極；

頂電極、壓電層、底電極與聲學鏡在諧振器的厚度方向上的重疊區域形成諧振器的有效區域。

13.一種濾波器，包括根據權利要求1-12中任一項所述的體聲波諧振器。

14.一種電子設備，包括根據權利要求13所述的濾波器或者根據權利要求1-12中任一項所述的諧振器。