[實用新型]一種實時監測鈣鈦礦薄膜成膜質量的設備

有效

• 申請號: 201822232726.4
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN209344035U
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 杭州纖納光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;G01N23/207
• 代理公司: 浙江一墨律師事務所 33252
• 代理人: 陳紅珊

1.一種實時監測鈣鈦礦薄膜成膜質量的設備，其特征在于，包括X射線衍射監測裝置以及分析統計系統，所述X射線衍射監測裝置的X射線監測數據傳輸至分析統計系統，所述X射線衍射監測裝置包括滑動軌道、測角儀圓環、X射線發射裝置、X射線接收裝置及計步器、測量記錄系統，所述滑動軌道、測角儀圓環、X射線發射裝置以及X射線接收裝置及計步器設置在真空密封艙內，在所述真空密封艙內設置有加熱鈣鈦礦太陽能電池基片的加熱裝置，以及被蒸發控制系統控制的蒸發源，所述滑動軌道固定在真空密封艙內，所述測角儀圓環沿滑動軌道滑動，所述X射線發射裝置以及X射線接收裝置及計步器設置在測角儀圓環上，所述X射線接收裝置及計步器繞測角儀圓環旋轉，所述X射線發射裝置不斷改變入射角，發射的X射線投射到鈣鈦礦太陽能電池基片表面產生衍射，所述X射線接收裝置及計步器把捕捉到衍射線的數據傳輸至測量記錄系統，所述測量記錄系統將該數據傳輸至分析統計系統，所述分析統計系統的分析數據反饋至蒸發控制系統。

2.如權利要求1所述的實時監測鈣鈦礦薄膜成膜質量的設備，其特征在于，所述X射線衍射監測裝置的測試次數與時間間隔由分析統計系統設置。