[實用新型]一種免拆換晶振片的清潔裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822225233.8
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN209227054U
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發(fā)明（設計）人: 劉志文;鄒成
• 申請（專利權(quán)）人: 湖畔光電科技（江蘇）有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;B08B7/00
• 代理公司: 北京律遠專利代理事務所(普通合伙) 11574
• 代理人: 全成哲

本實用新型公開了一種免拆換晶振片的清潔裝置，該清潔裝置設置于蒸鍍腔室內(nèi)，包括激光發(fā)生器、柱形透鏡和排料管道，所述激光發(fā)生器設置于所述蒸鍍腔室內(nèi)的定位盤背離所述晶振片一側(cè)，與所述激光發(fā)生器相對應位置的所述定位盤上設置有通孔，所述激光發(fā)生器與所述通孔之間設置有所述柱形透鏡，所述排料管道一端與所述激光發(fā)生器與所述通孔之間的空間連通，另一端連接抽氣泵。本實用新型的清潔裝置通過激光發(fā)生器產(chǎn)生激光經(jīng)柱形透鏡形成條狀光，穿過通孔作用在晶振片上,有機材料吸收激光能量后,蒸發(fā)脫離晶振片鍍金層，然后被抽氣泵從排料管道中抽走，達到了有效清潔晶振片的目的。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種免拆換晶振片的清潔裝置。

背景技術(shù)

在真空腔室內(nèi)，當開始鍍膜時，部分有機材料會沉積到晶振片鍍金層，晶振片以此來檢測鍍膜速率。隨著晶振片鍍金層有機材料的增加，其振動頻率發(fā)生變化，晶振片性能下降，需要更換晶振片。目前情況，日常生產(chǎn)中，晶振片使用壽命短，晶振片更換繁瑣費時，且晶振片價格昂貴導致成本增大。

實用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型的目的是提供一種免拆換晶振片的清潔裝置，在不降低晶振片性能的情況下清潔晶振片表面有機材料，延長晶振片使用壽命，節(jié)省了時間、人力、成本。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用如下技術(shù)方案：

一種免拆換晶振片的清潔裝置，該清潔裝置設置于蒸鍍腔室內(nèi)，包括激光發(fā)生器、柱形透鏡和排料管道，所述激光發(fā)生器設置于所述蒸鍍腔室內(nèi)的定位盤背離所述晶振片一側(cè)，與所述激光發(fā)生器相對應位置的所述定位盤上設置有通孔，所述激光發(fā)生器與所述通孔之間設置有所述柱形透鏡，所述排料管道一端與所述激光發(fā)生器與所述通孔之間的空間連通，另一端連接抽氣泵。

進一步的，所述激光發(fā)生器為波長248nm的KrF準分子激光發(fā)生器、波長308nm的XeCl準分子激光發(fā)生器、波長193nm的ArF準分子激光發(fā)生器、Nd:YAG固體激光發(fā)生器、CO₂激光發(fā)生器或半導體激光發(fā)生器。

進一步的，所述通孔的設置位置與所述定位盤上原自帶孔的位置對稱。

進一步的，所述排料管道為耐高溫且內(nèi)壁不輕易粘附有機材料的管道。

進一步的，所述排料管道包括不銹鋼管，所述不銹鋼管內(nèi)壁鍍有聚四氟乙烯。

進一步的，所述抽氣泵為真空泵或干泵。

進一步的，所述排料管道連接于所述柱形透鏡與所述通孔之間。

進一步的，所述排料管道靠近所述通孔設置以便于吸收有機材料。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益技術(shù)效果：

激光發(fā)生器產(chǎn)生激光通過柱形透鏡形成條狀光，穿過通孔作用在晶振片上,有機材料吸收激光能量后,蒸發(fā)脫離晶振片鍍金層，然后被抽氣泵從排料管道中抽走，達到了有效清潔晶振片的目的。

附圖說明

下面結(jié)合附圖說明對本實用新型作進一步說明。

圖1為本實用新型免拆換晶振片的清潔裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為晶振片在晶振片轉(zhuǎn)盤的分布示意圖；

附圖標記說明：1-激光發(fā)生器；2-柱形透鏡；3-排料管道；4-排料管道；5-定位盤；6-晶振片；7-晶振片轉(zhuǎn)盤。

具體實施方式