[實用新型]一種通用型硅片石英舟有效
| 申請號： | 201822222493.X | 申請日： | 2018-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN209150067U | 公開（公告）日： | 2019-07-23 |
| 發明（設計）人： | 陶錫昆 | 申請（專利權）人： | 昆山佳鹿石英有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 側托板 底托板 底架 滑槽盤 石英舟 通用型 支撐框 本實用新型 中連接桿 分度 滑槽 硅片放置 提桿 承載 | ||
1.一種通用型硅片石英舟，其特征在于：包括底架(1)、滑槽盤(2)、硅片側托板(3)以及硅片底托板(4)；所述底架(1)包括中連接桿(11)和邊支撐框(12)，所述邊支撐框(12)與中連接桿(11)的兩端連接，所述滑槽盤(2)位于邊支撐框(12)內側，所述滑槽盤(2)上設置有分度滑槽(21)，所述硅片側托板(3)的兩側位于分度滑槽(21)內，所述硅片底托板(4)位于底架(1)上，所述硅片側托板(3)與硅片底托板(4)的位置相對應，所述硅片側托板(3)與硅片底托板(4)上均設置有硅片放置槽(5)；所述底架(1)上還設置有提桿(6)。
2.根據權利要求1所述的一種通用型硅片石英舟，其特征在于：所述底架(1)為一體成型式結構體，所述邊支撐框(12)包括底邊和斜邊，所述中連接桿(11)與底邊垂直連接，所述斜邊的底端與底邊的兩端連接。
3.根據權利要求2所述的一種通用型硅片石英舟，其特征在于：所述邊支撐框(12)上的滑槽盤(2)具體位于斜邊上，所述滑槽盤(2)呈扇形，所述分度滑槽(21)的數量為多個并且沿扇形的滑槽盤(2)呈等角度陣列布置。
4.根據權利要求3所述的一種通用型硅片石英舟，其特征在于：呈等角度陣列布置的所述分度滑槽(21)的陣列中心為邊支撐框(12)的底邊與斜邊的連接處。
5.根據權利要求4所述的一種通用型硅片石英舟，其特征在于：所述分度滑槽(21)的寬度與硅片側托板(3)的厚度相配合，所述硅片側托板(3)與硅片底托板(4)上的硅片放置槽(5)均呈直線陣列狀布置。
6.根據權利要求2所述的一種通用型硅片石英舟，其特征在于：所述底架(1)上的提桿(6)具體與底邊中部連接，所述提桿(6)的上部朝向底架(1)的中心軸線傾斜。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于昆山佳鹿石英有限公司，未經昆山佳鹿石英有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201822222493.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種硅片加工用的新型花籃
- 下一篇：一種可調節的硅片清洗舟
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
