[實用新型]一種晶閘管陰極蒸鋁用裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201822211110.9 | 申請日： | 2018-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN209658139U | 公開（公告）日： | 2019-11-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 顧標琴;高占成;徐愛民 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇潤奧電子制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;H01L21/283;H01L29/74 |
| 代理公司： | 11212 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 潘云峰<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址： | 225000 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 通孔 底板 夾具 本實用新型 晶閘管陰極 加工效率 間隔開設(shè) 外側(cè)設(shè)置 壓緊機構(gòu) 晶閘管 壓緊 有壓 蒸鋁 | ||
1.一種晶閘管陰極蒸鋁用裝置，其特征在于，包括底板，所述底板上間隔開設(shè)有多個通孔，所述通孔外側(cè)設(shè)置有壓緊機構(gòu)，且通孔內(nèi)部放置有夾具，所述壓緊機構(gòu)壓緊所述夾具，所述壓緊機構(gòu)的數(shù)目、通孔的數(shù)目和夾具的數(shù)目一致，所述壓緊機構(gòu)還包括兩根彈簧和壓塊，所述彈簧一端固定在底板上位于通孔外側(cè)，另一端安裝在壓塊上，所述彈簧分別位于通孔兩側(cè)，且彈簧的中心線一致。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶閘管陰極蒸鋁用裝置，其特征在于，所述夾具包括圓盤和壓板，所述圓盤上間隔開設(shè)有多個放置孔，且圓盤位于所述通孔內(nèi)部，所述圓盤外側(cè)設(shè)置有所述壓板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶閘管陰極蒸鋁用裝置，其特征在于，所述放置孔的內(nèi)側(cè)為階梯型。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶閘管陰極蒸鋁用裝置，其特征在于，所述圓盤外側(cè)設(shè)置有外沿邊，所述外沿邊位于所述底板上。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
