[實用新型]用于下部電極的電極棒

有效

• 申請號: 201822204532.3
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN209104116U
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 金南浩;李東一;梁君;李金梅;胡楊
• 申請（專利權）人: 重慶臻寶實業有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 重慶為信知識產權代理事務所(普通合伙) 50216
• 代理人: 龍玉洪

本實用新型公開了一種用于下部電極的電極棒，包括陶瓷體、鈦棒和底座，鈦棒包括導電體，以及可拆卸設置在導電體一端的引電頭，其中導電體呈圓柱狀，底座固套于陶瓷體的下端，且位于引電頭的周向外側，引電頭貫穿底座的下表面，陶瓷體內設有用于安裝鈦棒的安裝腔，安裝腔的直徑為ΦA；導電體遠離引電頭的一端具有呈柱狀的供電頭，供電頭露出安裝腔，并與陶瓷體的端面緊貼，供電頭緊貼陶瓷體的一端具有圓形遮擋面，該圓形遮擋面的直徑為ΦB，所述ΦB大于ΦA。通過改變鈦棒結構，防止電流擊穿對絕緣涂層及鋁母材的破壞，提高下部電極的整體壽命，確保電極棒具有良好的導電效率，同時提高電極棒特定部位涂層的絕緣性，提高刻蝕品的產能。

技術領域

本實用新型屬于LCD蝕刻技術領域，具體涉及一種用于下部電極的電極棒。

背景技術

下部電極被廣泛應用于諸如平板顯示器件、集成電路的干法刻蝕工藝中，刻蝕工藝中的主要設備還包括反應腔和上部電極，下部電極和上部電極均位于反應腔內，刻蝕過程中，待刻蝕基板置于下部電極上，反應腔內通入等離子氣體，并將反應腔密閉，向上部電極和下部電極施加電壓，二者之間形成電勢差；在電場作用下，等離子體獲得很高的能量并以很高的速度轟擊待刻蝕基板從而實現刻蝕。

此過程中，下部電極中通過電極棒引入高電壓，現有電極棒主要由鈦棒和陶瓷體構成，而因為二者均存在加工公差，導致二者之間存在裝配縫隙，經過實驗發現，該縫隙使得高電壓在頭部位置產生電弧放電，從而對母材上的絕緣涂層產生破壞，最終導致絕緣失效，使母材破裂，大大縮短下部電極的使用壽命，甚至在刻蝕過程中影響產品刻蝕效果，擴大了次品率。

實用新型內容

為解決以上技術問題，本實用新型提供了一種用于下部電極的電極棒，避免或減弱高放電對絕緣涂層產生破壞，延長下部電極的使用壽命，提高刻蝕產品良品率。

為實現上述目的，本實用新型技術方案如下：

一種用于下部電極的電極棒，包括陶瓷體、鈦棒和底座，其關鍵在于：所述鈦棒包括導電體，以及可拆卸設置在導電體一端的引電頭，其中導電體呈圓柱狀，所述底座固套于陶瓷體的下端，且位于引電頭的周向外側，所述引電頭貫穿底座的下表面，所述陶瓷體內設有用于安裝鈦棒的安裝腔，所述安裝腔的直徑為ΦA；

所述導電體遠離引電頭的一端具有呈柱狀的供電頭，所述供電頭露出安裝腔，并與陶瓷體的端面緊貼，供電頭緊貼陶瓷體的一端具有圓形遮擋面，該圓形遮擋面的直徑為ΦB，所述ΦB大于ΦA。

采用以上方案，采用分體式的鈦棒結構，導電體從上往下插入后與引電頭連接，并通過供電頭實現對鈦棒與陶瓷體之間間隙的遮擋，避免使用過程中因為鈦棒放電，導致對間隙位置處絕緣涂層的損壞，從而使絕緣涂層失效，對鋁母材造成破壞的情況發生，大大提高了下部電極的使用壽命。

為提高鈦棒頭部位置的完整度，降低裝配精度，所述供電頭與導電體一體成型。

作為優選：所述供電頭呈錐臺狀，其直徑沿遠離陶瓷體的方向逐漸變小。采用以上結構，有利于保證絕緣涂層的附著力，確保其周圍均能有絕緣涂層覆蓋。

作為優選：所述供電頭的最小直徑大于導電體的直徑。采用以上結構，確保其能充分遮擋陶瓷體與母材之間的縫隙，并能防止縫隙引起的電極棒失效。

為提高電極棒的生產組裝效率，所述引電頭和導電體螺紋連接。

作為優選：所述引電頭呈“T”字型，其包括一體成型的引電部和固定部，所述引電部和固定部均呈圓柱狀，且同軸設置，所述固定部的直徑為ΦC，所述ΦC大于ΦA。采用以上結構，便于與底座固定連接，可有效確保安裝腔的密閉性，防止雜質侵入安裝腔內，影響鈦棒導電性能。