[實用新型]一種吸盤式晶元硅片減薄機

有效

• 申請號: 201822185639.8
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN209282172U
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發明（設計）人: 陳琳
• 申請（專利權）人: 蘇州美法光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 劉計成

1.一種吸盤式晶元硅片減薄機，包括設備機箱（1），其特征在于：所述設備機箱（1）的左側固定連接有進液管（5），所述進液管（5）上固定連接有分流管（6），所述設備機箱（1）的上端開設有進料口（7），所述進料口（7）內開設有固定槽（701），所述進料口（7）內活動安裝有密封蓋（19），所述密封蓋（19）的上端活動安裝有提拉把手（20），所述密封蓋（19）的下端固定安裝有安裝卡塊（1901），所述密封蓋（19）的外側活動安裝有彈性圈（1902），所述設備機箱（1）的右側上端活動安裝有驅動電機（10），所述驅動電機（10）的外側活動安裝有防護罩（11），所述防護罩（11）外側預留有散熱孔（12），所述驅動電機（10）的下端活動安裝有驅動軸（13），所述驅動軸（13）的下端活動安裝有輸出錐形齒輪（14），所述輸出錐形齒輪（14）的左側嚙合連接有接受錐形齒輪（15），所述接受錐形齒輪（15）的左端活動安裝有傳動軸（16），所述傳動軸（16）的左側活動安裝有定位板（17），所述定位板（17）的左側活動安裝有清洗滾筒（18），所述清洗滾筒（18）的外側固定連接有連接軸（1802），所述清洗滾筒（18）的表面活動安裝有密封門（1801），所述清洗滾筒（18）內固定安裝有固定桿（1803），所述固定桿（1803）之間活動安裝有安裝吸盤（21），所述安裝吸盤（21）上預留有吸氣孔（23），所述安裝吸盤（21）的外側活動安裝有密封圈（22），所述設備機箱（1）的內側下端固定安裝有導流板（4），所述導流板（4）的兩側活動安裝有安裝板（3），所述安裝板（3）遠離清洗滾筒（18）的一側固定安裝有阻隔板（2），所述設備機箱（1）的右側下端活動安裝有控制閥（8），所述控制閥（8）的下端開設有廢液出口（9）。

2.根據權利要求1所述的一種吸盤式晶元硅片減薄機，其特征在于：所述阻隔板（2）在設備機箱（1）內關于清洗滾筒（18）對稱設置有兩個，且阻隔板（2）的長度大于等于安裝板（3）的長度。

3.根據權利要求1所述的一種吸盤式晶元硅片減薄機，其特征在于：所述導流板（4）為傾斜角度設計，且導流板（4）的長度等于阻隔板（2）之間的距離。

4.根據權利要求1所述的一種吸盤式晶元硅片減薄機，其特征在于：所述進液管（5）為“L”型結構設計，且進液管（5）上等間距設置有三個分流管（6）。

5.根據權利要求1所述的一種吸盤式晶元硅片減薄機，其特征在于：所述固定槽（701）為向內凹陷的圓形結構設計，且固定槽（701）和安裝卡塊（1901）相互配適，并且固定槽（701）和安裝卡塊（1901）相會對應設置有兩組。

6.根據權利要求1所述的一種吸盤式晶元硅片減薄機，其特征在于：所述清洗滾筒（18）在定位板（17）上等間距設置有三組，且清洗滾筒（18）上對稱設置有兩個連接軸（1802）2。