[實用新型]一種高溫測壓壓頭裝置

有效

• 申請號: 201822142138.1
• 申請日: 2018-12-19
• 公開（公告）號: CN209513457U
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 馮雨周;鮑軍其;胡沖
• 申請（專利權）人: 杭州長川科技股份有限公司
• 主分類號: G01N3/18
• 分類號: G01N3/18
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

本實用新型涉及一種高溫測壓壓頭裝置，包括：基板，兩個至六個測壓裝置；測壓裝置包括：與基板下端連接的測壓座，設于測壓座上端且與測壓座兩端貫通的容置槽，設于容置槽底面且與測壓座下端貫通的通孔，穿設于通孔中且與通孔適配的壓頭，設于容置槽中且與壓頭上端連接的升降塊，設于升降塊中的加熱器和溫度傳感器，設于升降塊上端和基板下端之間的壓簧組。所述的高溫測壓壓頭裝置測壓穩定性較好適用于集成電路高溫測壓，測壓效率較高且成本較低。

技術領域

本實用新型涉及集成電路測試分選領域，尤其是一種高溫測壓壓頭裝置。

背景技術

集成電路行業發展迅速，對集成電路產品的良品率要求日益增高，集成電路投放市場前對其品質需要進行檢測。測壓是集成電路品質檢測的重要一環，而測壓裝置性能好壞直接決定了集成電路測壓的效率和穩定性。對高溫環境下使用的集成電路需要進行高溫測壓；傳統的集成電路檢測設備具有單個或多個獨立設置的測壓壓頭，存在測壓穩定性較差不適用于集成電路高溫測壓，測壓效率較低或成本較高的不足；因此，設計一種測壓穩定性較好適用于集成電路高溫測壓，測壓效率較高且成本較低的高溫測壓壓頭裝置，成為亟待解決的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了克服目前的集成電路檢測設備具有單個或多個獨立設置的測壓壓頭，存在測壓穩定性較差不適用于集成電路高溫測壓，測壓效率較低或成本較高的不足，提供一種測壓穩定性較好適用于集成電路高溫測壓，測壓效率較高且成本較低的高溫測壓壓頭裝置。

本實用新型的具體技術方案是：

一種高溫測壓壓頭裝置，包括：基板，兩個至六個測壓裝置；測壓裝置包括：與基板下端連接的測壓座，設于測壓座上端且與測壓座兩端貫通的容置槽，設于容置槽底面且與測壓座下端貫通的通孔，穿設于通孔中且與通孔適配的壓頭，設于容置槽中且與壓頭上端連接的升降塊，設于升降塊中的加熱器和溫度傳感器，設于升降塊上端和基板下端之間的壓簧組；升降塊的寬度與容置槽的寬度適配。所述的高溫測壓壓頭裝置，升降塊中設有加熱器和溫度傳感器，壓頭穿設于通孔中且與通孔適配，升降塊的寬度與容置槽的寬度適配，測壓穩定性較好適用于集成電路高溫測壓；測壓裝置有測壓座與基板下端連接的兩個至六個，高溫測壓時測壓裝置同步升降測壓效率較高且成本較低；壓簧組利于緩沖壓頭壓住集成電路時的沖擊力。

作為優選，所述的壓簧組包括四個壓簧；升降塊上端設有與壓簧組的四個壓簧一一對應的四個下壓簧孔；基板設有個數與測壓裝置個數相同且一一對應的壓簧上孔組和調整螺釘組；壓簧上孔組包括：設于基板上端且與壓簧組的四個壓簧一一對應的四個螺孔和設于基板下端且上端與四個螺孔底面一一對應貫通的四個上壓簧孔；調整螺釘組包括四個一一對應位于壓簧上孔組的四個螺孔中且與螺孔螺接的調整螺釘；壓簧組的壓簧的下端一一對應壓住下壓簧孔的底面；壓簧組的壓簧的上端一一對應穿過上壓簧孔壓住調整螺釘的下端。壓簧組的壓簧的下端一一對應壓住下壓簧孔的底面，壓簧組的壓簧的上端一一對應穿過上壓簧孔壓住調整螺釘的下端，安裝穩固利于壓簧的壓力穩定；旋轉調整螺釘能調整壓簧的預壓力，適應不同規格的集成電路對高溫測壓的壓力要求。

作為優選，所述的高溫測壓壓頭裝置還包括：兩個限位塊；測壓裝置有縱向并列設置的四個；容置槽的長度方向為縱向；一個限位塊位于第一個測壓裝置的升降塊和第二個測壓裝置的升降塊上側且與基板下端連接；另一個限位塊位于第三個測壓裝置的升降塊和第四個測壓裝置的升降塊上側且與基板下端連接。限位塊對升降塊上升高度進行限位提高安全性。

作為優選，所述的測壓裝置還包括：設于測壓座一側端的橫槽，設于橫槽中的溫度保險絲，壓住溫度保險絲且與測壓座連接的固定蓋。溫度保險絲能感應產生的過熱，從而切斷電路提高安全性。

作為優選，所述的基板一側端設有若干個走線支架。走線支架利于固定管線且使管線布置整齊美觀。