[實用新型]一種上吸式波紋管除塵工具

有效

• 申請號: 201822107816.0
• 申請日: 2018-12-16
• 公開（公告）號: CN209307511U
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發明（設計）人: 趙永堂
• 申請（專利權）人: 河南協鑫光伏科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 鄭州中原專利事務所有限公司 41109
• 代理人: 張春;王曉麗

本實用新型提供一種成本低、操作方便、效率高的上吸式波紋管除塵工具，包括內徑大于坩堝軸直徑、外徑小于波紋管內徑的薄壁圓筒，薄壁圓筒下端開口、上端設置外接吸塵管的吸塵口；薄壁圓筒外圓周對稱設置兩個把手，把手下端到薄壁圓筒下端的長度大于波紋管的長度。還包括設置在波紋管上方的升降機構，升降機構的升降端與坩堝軸中心軸線在一條直線上；薄壁圓筒的兩個把手與升降端之間設置用于連接把手與升降端的連接架。薄壁圓筒和波紋管之間構成同心圓結構，既滿足除塵工具有足夠的強度又可以在波紋管與坩堝軸間形成有效的真空腔。利用升降機構實現薄壁圓筒的定位和自動上下移動，操作方便。

技術領域

本實用新型屬于單晶爐領域，具體涉及一種上吸式波紋管除塵工具

背景技術

單晶爐是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長單晶或多晶硅棒的設備。硅棒直徑在生長過程中可受到溫度，提拉速度與轉速，坩堝跟蹤速度與轉速，保護氣體的流速等因素的影響。其中溫度主要決定能否成晶，而速度將直接影響到晶體的內在質量，而這種影響卻只能在硅棒拉出后通過檢測才能獲知。溫度分布合適的熱場，不僅單晶硅棒生長順利，而且品質較高；如果熱場的溫度分布不是很合理，生長單晶的過程中容易產生各種缺陷，影響硅棒質量。

作為單晶爐至關重要的一部分，坩堝下傳動裝置起到支撐坩堝、通過旋轉上升控制坩堝內部硅料溫度的作用：主要由磁流體、電機、坩堝支撐軸、減速機、波紋管、立柱、上下傳動支撐架、導軌等部件組成，坩堝下傳動裝置的運轉狀態，直接決定了單晶爐是否能夠順利拉制硅棒。

而在實際硅棒拉制過程中，氧化物質會通過坩堝軸托桿與波紋管之間的空隙進入到磁流體轉軸與本體集合處，隨著物質的積累和旋轉的研磨，粉末狀氧化物會進入到磁流液填充面，污染磁流液，使磁流體密封狀況變差直至失效，導致無法保證單晶爐爐內的真空狀態，影響生產正常進行，嚴重時會損壞磁流體機械部件，造成嚴重損失。

為了保證坩堝下傳動裝置運行正常，保證硅棒質量，坩堝軸和波紋管之間的氧化物就需要每一爐硅棒拉制完成后及時清理，由于波紋管與坩堝軸之間的距離僅為7mm，吸塵管難以直接進入進行清理，所以通常的清理方法是維修人員下到爐臺基座上，在狹小空間內拆卸波紋管和磁流體連接螺栓，脫開波紋管后使用除塵管道清除氧化物，恢復安裝時需要使用酒精和真空脂處理波紋管與磁流體連接處O型圈。此拆卸清理及恢復過程較為繁瑣，消耗大量人力，耗時較長，另外，人員上下爐臺基座存在較大安全隱患，拆卸裝配過程容易損壞元器件或造成真空泄露，帶來更大的損失。

專利CN201900121U單晶爐波紋管道清潔器中采用一個管體，管體下部橫截面為橢圓形，短軸的長度小于波紋管和坩堝軸的最小距離。管體下部插入波紋管道中清理雜物。這種結構不需要工作人員拆卸波紋管。但是波紋管和坩堝爐之間的距離很小，大約只有7毫米。管道下部很小，需要在波紋管內轉動才能吸出氧化物，操作比較麻煩，特別是坩堝比較大的場合。需要一種操作簡單、吸取質量好的除塵工具。

發明內容

本實用新型提供一種成本低、操作方便、效率高的上吸式波紋管除塵工具。

本實用新型的目的是以下述方式實現的：一種上吸式波紋管除塵工具，包括內徑大于坩堝軸直徑、外徑小于波紋管內徑的薄壁圓筒，薄壁圓筒下端開口、上端設置外接吸塵管的吸塵口；薄壁圓筒外圓周對稱設置兩個把手，把手下端到薄壁圓筒下端的長度大于波紋管的長度。

還包括設置在波紋管上方的升降機構，升降機構的升降端與坩堝軸中心軸線在一條直線上；薄壁圓筒的兩個把手與升降端之間設置用于連接把手與升降端的連接架。

還包括設置在地面的小車，小車上設置升降機構，薄壁圓筒的兩個把手與升降機構的升降端之間設置用于連接把手與升降端的連接架。

升降機構包括設置在小車上的卷揚機，小車上還設置懸臂，懸臂的一端設置導向輪，卷揚機的鋼絲繩繞過導向輪向下通過連接架與薄壁圓筒的兩個把手相連。