[實用新型]用于汽化和遞送經汽化源材料的汽化器組合件

有效

• 申請號: 201822105599.1
• 申請日: 2018-12-14
• 公開（公告）號: CN209989463U
• 公開（公告）日: 2020-01-24
• 發明（設計）人: D·J·埃爾德里奇;J·M·克利里;J·托馬斯;S·L·巴特爾;T·查特頓;J·格雷格;B·C·亨德里克斯;T·鮑姆
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448;C23C16/455;C23C14/48
• 代理公司: 11287 北京律盟知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 顧晨昕

1.一種用于汽化和遞送經汽化源材料的汽化器組合件，其特征在于所述汽化器組合件包括：

多器皿主體組合件，其包含至少縱向附接的第一器皿主體和第二器皿主體，所述器皿主體具有共同縱向軸線且界定所述多器皿主體組合件的內部體積，所述器皿主體中的每一個具有由側壁和器皿主體邊沿開口界定的內部體積，所述器皿主體中的每一個具有所述器皿主體的內徑且具有內部側壁表面；

基座部件，其安置于所述第一器皿主體下方且封閉所述第一器皿主體的底部開口；

蓋部件，其安置于所述第二器皿主體的所述邊沿開口上，所述第二器皿主體安置于所述第一器皿主體的所述邊沿開口上；

氣體入口和氣體出口，其經布置成與所述多器皿主體組合件的所述內部體積流體連通，所述氣體入口適于將第一氣體供應到所述多器皿主體組合件的所述內部體積；以及

多個通風支撐托盤，其具有托盤圓周側壁，所述托盤圓周側壁安置于所述內部體積內且與所述多器皿主體組合件的內徑接觸，所述多個通風支撐托盤包含第一組托盤，所述第一組托盤安置于所述第一器皿主體內且在安置于所述第二器皿主體內的第二組托盤下方，其中所述第一組托盤中的每一個具有大于所述第二組托盤的第二托盤側壁高度的第一托盤側壁高度，所述多個所述支撐托盤適于支撐在所述氣體入口與所述氣體出口之間延伸的流動路徑中的可汽化的源材料。

2.根據權利要求1所述的汽化器組合件，其特征在于所述第二器皿主體包含下部基座邊沿，所述下部基座邊沿經配置以與所述第一器皿主體的上部邊沿開口配合。

3.根據權利要求1所述的汽化器組合件，其特征在于所述第一器皿主體具有大于所述第二器皿主體的縱向高度的縱向高度。

4.根據權利要求1所述的汽化器組合件，其特征在于所述第一器皿主體的第一縱向高度等于所述第二器皿主體的縱向高度。

5.根據權利要求1所述的汽化器組合件，其特征在于所述第一托盤側壁高度小于所述第二托盤側壁高度。

6.一種用于汽化和遞送經汽化源材料的汽化器組合件，其特征在于所述汽化器組合件包括：

器皿主體，其具有由側壁和器皿主體邊沿開口界定的內部體積；

基座部件，其安置于所述器皿主體下方且封閉所述器皿主體的底部開口；

蓋部件，其安置于所述器皿主體的所述邊沿開口上；

氣體入口和氣體出口，其經布置成與所述器皿主體的所述內部體積流體連通，所述氣體入口適于將第一氣體供應到所述器皿主體的所述內部體積；以及

多個通風支撐托盤，其具有托盤圓周側壁，所述托盤圓周側壁安置于所述內部體積內且與所述器皿主體的內徑接觸，所述多個通風支撐托盤包含安置于所述器皿主體內的第一組托盤，所述多個所述支撐托盤適于支撐在所述氣體入口與所述氣體出口之間延伸的流動路徑中的可汽化的源材料，其中安置于所述基座部件附近的至少一個支撐托盤包含安置于所述至少一個支撐托盤的外表面周圍的O形環。

7.根據權利要求6所述的汽化器組合件，其特征在于所述多個支撐托盤包含安置于所述器皿主體內在所述第一組托盤上方的第二組托盤，所述第一組托盤中的每一個具有大于所述第二組托盤的第二托盤側壁高度的第一托盤側壁高度。

8.根據權利要求6所述的汽化器組合件，其特征在于所述支撐托盤中的每一個包含抗腐蝕涂層，所述抗腐蝕涂層選自由以下各項組成的群組：金屬氧化物、金屬氮化物、金屬碳化物，以及分層堆放在一起的這些膜的組合。