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[實(shí)用新型]電解銅箔電沉積裝置及電解銅箔制造裝置有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201822096053.4 申請(qǐng)日: 2018-12-13
公開(公告)號(hào): CN209227084U 公開(公告)日: 2019-08-09
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 金相裕 申請(qǐng)(專利權(quán))人: KCF技術(shù)有限公司
主分類號(hào): C25D1/04 分類號(hào): C25D1/04
代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 代理人: 向勇;崔炳哲
地址: 韓國*** 國省代碼: 韓國;KR
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 電解銅箔 電解液 陽極部 陰極部 電沉積裝置 制造裝置 銅箔 本實(shí)用新型 電沉積 電極部 供應(yīng)部 供應(yīng)電解液 電解液量 互相隔開 均勻性 電鍍 通電 滯留 流動(dòng) 制造
【權(quán)利要求書】:

1.一種電解銅箔電沉積裝置,其特征在于,包括:

陰極部,利用電解液以電鍍方式使銅箔電沉積;

陽極部,經(jīng)由電解液與所述陰極部進(jìn)行通電;

電解液供應(yīng)部,向所述陰極部和所述陽極部之間供應(yīng)電解液;以及

多個(gè)電極部,結(jié)合于所述陽極部,

多個(gè)所述電極部互相隔開間隔而結(jié)合于所述陽極部,使得從所述電解液供應(yīng)部供應(yīng)的電解液流動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電解銅箔電沉積裝置,其特征在于,

多個(gè)所述電極部分別包括第一電極構(gòu)件,所述第一電極構(gòu)件朝向從所述陽極部隔開間隔的距離發(fā)生增加的外側(cè)方向延伸并結(jié)合于所述陽極部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電解銅箔電沉積裝置,其特征在于,

多個(gè)所述電極部分別包括第二電極構(gòu)件,所述第二電極構(gòu)件朝向上方延伸并結(jié)合于所述第一電極構(gòu)件。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電解銅箔電沉積裝置,其特征在于,包括連接部,

所述連接部以與多個(gè)所述電極部電連接的方式分別結(jié)合于多個(gè)所述電極部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電解銅箔電沉積裝置,其特征在于,包括遮蔽部,

所述遮蔽部結(jié)合于多個(gè)所述電極部,以從電解液遮住多個(gè)所述電極部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電解銅箔電沉積裝置,其特征在于,

多個(gè)所述電極部分別包括與所述陽極部結(jié)合的第一電極構(gòu)件,

所述遮蔽部包括分別與多個(gè)所述第一電極構(gòu)件結(jié)合的多個(gè)第一遮蔽構(gòu)件,

多個(gè)所述第一遮蔽構(gòu)件分別位于多個(gè)所述第一電極構(gòu)件各自的上方,以從電解液遮住多個(gè)所述第一電極構(gòu)件。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電解銅箔電沉積裝置,其特征在于,

多個(gè)所述電極部分別包括與所述第一電極構(gòu)件結(jié)合的第二電極構(gòu)件,

所述遮蔽部包括分別與所述第二電極構(gòu)件結(jié)合的多個(gè)第二遮蔽構(gòu)件,

多個(gè)所述第二遮蔽構(gòu)件分別位于多個(gè)所述第二電極構(gòu)件各自的朝向所述陽極部的內(nèi)側(cè)方向,以從電解液遮住所述第二電極構(gòu)件。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電解銅箔電沉積裝置,其特征在于,

所述遮蔽部包括第三遮蔽構(gòu)件,所述遮蔽構(gòu)件結(jié)合于多個(gè)所述第一遮蔽構(gòu)件和多個(gè)所述第二遮蔽構(gòu)件,以遮住所述第一遮蔽構(gòu)件和所述第二遮蔽構(gòu)件之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電解銅箔電沉積裝置,其特征在于,

所述遮蔽部由聚碳酸酯、聚對(duì)苯二甲酸以及聚酰亞胺中的任意一個(gè)材料形成。

10.一種電解銅箔制造裝置,其特征在于,包括權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的電解銅箔電沉積裝置,還包括:

搬運(yùn)部,用于搬運(yùn)從所述陰極部解繞的銅箔;

切割部,用于切割從所述搬運(yùn)部搬運(yùn)的銅箔的兩側(cè);以及

卷繞部,用于卷繞被所述切割部切割的銅箔。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

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