[實用新型]一種定位裝置

有效

• 申請號: 201822029877.X
• 申請日: 2018-12-05
• 公開（公告）號: CN209614603U
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 楊偉林;程生科;嚴青松;李衛民
• 申請（專利權）人: 廈門積光集成電路科技有限公司
• 主分類號: B23K26/70
• 分類號: B23K26/70;B23K26/146;B23K37/04
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 張全文

1.一種定位裝置，其特征在于，包括：

第一基板，包括設于所述第一基板上表面的多個吸附孔、連通所述吸附孔的真空管路，以及避讓所述吸附孔與所述真空管路的冷卻管路；

真空產生器，包括相互連通的進氣口與出氣口，所述進氣口與所述真空管路的一端連通，所述出氣口與所述真空管路的另一端連通；以及

冷卻機組，包括介質入口與介質出口，所述介質入口與所述冷卻管路的一端連通，所述介質出口與所述冷卻管路的另一端連通。

2.如權利要求1所述的定位裝置，其特征在于，所述真空管路包括沿第一方向貫穿所述第一基板且間隔設置的第一通孔與第二通孔，以及沿第二方向貫穿所述第一基板且間隔設置的多個第三通孔，所述第一通孔與多個所述第三通孔連通，所述第二通孔與多個所述第三通孔連通，所述第三通孔與所述吸附孔連通，所述第一通孔的一端與所述真空產生器的進氣口連通，所述第一通孔的另一端與所述第二通孔的一端連通，所述第二通孔的另一端與所述真空產生器的出氣口連通。

3.如權利要求2所述的定位裝置，其特征在于，所述第一通孔的兩端與所述第二通孔的兩端均連接有管道接頭，所述第一通孔的一端的管道接頭與所述真空產生器的進氣口連接，所述第一通孔的另一端的管道接頭與所述第二通孔的一端的管道接頭連接，所述第二通孔的另一端的管道接頭與所述真空產生器的出氣口連接。

4.如權利要求2所述的定位裝置，其特征在于，所述第一通孔與所述第二通孔的孔徑為5mm～7mm，所述第三通孔的孔徑為6mm～8mm，所述吸附孔的孔徑為0.5mm～1.5mm，所述第三通孔的數量為10～15個。

5.如權利要求2所述的定位裝置，其特征在于，所述定位裝置還包括第二基板以及分別設于所述第一基板對應所述第三通孔兩端的表面的兩個側封板，所述第一基板固定在所述第二基板上，所述側封板用于封堵多個所述第三通孔的端部開口。

6.如權利要求1所述的定位裝置，其特征在于，所述冷卻管路包括沿第一方向貫穿所述第一基板且間隔設置的第四通孔與第五通孔，所述第四通孔的一端與所述冷卻機組的介質入口連通，所述第四通孔的另一端與所述第五通孔的一端連通，所述第五通孔的另一端與所述冷卻機組的介質出口連通。

7.如權利要求6所述的定位裝置，其特征在于，所述第四通孔的兩端與所述第五通孔的兩端均連接有管道接頭，所述第四通孔的一端的管道接頭與所述冷卻機組的介質入口連接，所述第四通孔的另一端的管道接頭與所述第五通孔的一端的管道接頭連接，所述第五通孔的另一端的管道接頭與所述冷卻機組的介質出口連接。

8.如權利要求6所述的定位裝置，其特征在于，所述第四通孔與所述第五通孔的孔徑為7mm～9mm。

9.如權利要求1至8任一項所述的定位裝置，其特征在于，所述真空產生器為真空泵，所述冷卻機組為冷水機。

10.如權利要求1至8任一項所述的定位裝置，其特征在于，多個所述吸附孔均勻分布在所述第一基板的上表面上。