[實用新型]一種準分子激光器工作氣體配送裝置有效
| 申請號： | 201620623605.0 | 申請日： | 2016-06-22 |
| 公開（公告）號： | CN205828871U | 公開（公告）日： | 2016-12-21 |
| 發明（設計）人： | 丁金濱;劉斌;周翊;王宇 | 申請（專利權）人： | 中國科學院光電研究院 |
| 主分類號： | H01S3/036 | 分類號： | H01S3/036 |
| 代理公司： | 北京乾誠五洲知識產權代理有限責任公司11042 | 代理人： | 付曉青;楊玉榮 |
| 地址： | 100094*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 準分子激光 工作 氣體 配送 裝置 | ||
【說明書】：
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