[實用新型]夾心翅片及其燒制設備有效
| 申請號： | 201822011284.0 | 申請日： | 2018-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN208970504U | 公開（公告）日： | 2019-06-11 |
| 發明（設計）人： | 呂紅兵;胡露;劉建東;安文志 | 申請（專利權）人： | 上海強華實業股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/373 | 分類號： | H01L23/373 |
| 代理公司： | 北京力量專利代理事務所(特殊普通合伙) 11504 | 代理人： | 宋林清 |
| 地址： | 201507 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 透明石英 不透明 石英層 翅片 熔接 半導體擴散 保溫隔熱層 夾心餅干 燒制設備 翅片形 上表面 下表面 制程 | ||
【權利要求書】：
1.一種夾心翅片，用于半導體擴散制程中的保溫隔熱層，其特征在于，該夾心翅片包括：第一透明石英層、不透明石英層、第二透明石英層，
不透明石英層被夾在第一透明石英層和第二透明石英層之間，并且，不透明石英層的上表面與第一透明石英層熔接，不透明石英層的下表面與第二透明石英層熔接。
2.根據權利要求1所述的夾心翅片，其特征在于，不透明石英層的面積尺寸小于第一透明石英層或/和第二透明石英層，使得夾心翅片形如夾心餅干。
3.一種夾心翅片的燒制設備，用于燒制如權利要求1所述的夾心翅片，其特征在于，該燒制設備包括：
火焰槍，該火焰槍被安裝在一個火焰槍支撐架上；
轉臺，夾心翅片被安置在轉臺上，火焰槍的設置高度使得火焰槍能夠熔燒夾心翅片；
轉盤，設置在轉臺下部，與轉盤同步轉動；
真空泵，放置在轉盤上，通過冷水冷凝器與夾心翅片連通。
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