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[實用新型]一種研磨液回收裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201821963934.5 申請日: 2018-11-27
公開(公告)號: CN209735716U 公開(公告)日: 2019-12-06
發(fā)明(設計)人: 馮克耀;楊淼;張書豪;蔡家豪;邱智中;蔡吉明 申請(專利權)人: 安徽三安光電有限公司
主分類號: B02C17/10 分類號: B02C17/10;B02C17/18;B02C17/20;B02C23/00;B03C1/02
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 241000 安徽*** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 廢液儲罐 磁吸附裝置 回收裝置 循環(huán)供液 研磨液 廢液 半導體制造設備 磁性吸附裝置 本實用新型 廢液排出口 磁性研磨 廢液出口 廢液入口 返回 上端 過濾網(wǎng) 排出口 入口處 下端 抽取 回收
【權利要求書】:

1.一種研磨液回收裝置,用于回收研磨液中的磁性研磨顆粒,其特征在于:該回收裝置至少包括廢液儲罐、循環(huán)供液泵和磁吸附裝置,廢液儲罐上端開設有廢液入口,入口處設置有過濾網(wǎng),下端開設有廢液出口,循環(huán)供液泵從廢液排出口抽取廢液,一部分通過第一管路進入磁吸附裝置,另一部分通過第二管路返后從排出口返回廢液儲罐,所述磁吸附裝置內廢液則經(jīng)由第三管路返回至廢液儲罐內。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種研磨液回收裝置,其特征在于:所述磁性研磨顆粒為鐵氧體復合金剛石顆粒。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種研磨液回收裝置,其特征在于:所述磁吸附裝置包括容濾芯桶、設置于濾芯桶內的濾芯、容置于濾芯中的可拆卸的軟鐵芯以及設置于濾芯桶外壁的電磁感應線圈。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種研磨液回收裝置,其特征在于:該回收裝置還包括一稀釋裝置。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種研磨液回收裝置,其特征在于:所述廢液儲罐設置有液位傳感器。

6.根據(jù)權利要求5所述的一種研磨液回收裝置,其特征在于:所述液位傳感器設置有最低液位傳感器和最高液位傳感器。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種研磨液回收裝置,其特征在于:所述第二管路與廢液出口之處設置有90°彎角。

8.根據(jù)權利要求1所述的一種研磨液回收裝置,其特征在于:所述廢液出口處設置有廢液排出管路。

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