[實(shí)用新型]電池片槽式制絨設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821935355.X | 申請(qǐng)日: | 2018-11-22 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN208923047U | 公開(kāi)(公告)日: | 2019-05-31 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 曹芳 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司;阿特斯陽(yáng)光電力集團(tuán)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67 |
| 代理公司: | 蘇州威世朋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 楊林潔 |
| 地址: | 215000 江*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 輸送路徑 輸送裝置 循環(huán)泵 槽式制絨設(shè)備 本實(shí)用新型 槽本體 電池片 內(nèi)槽體 外槽體 循環(huán)輸送路徑 延長(zhǎng)使用壽命 控制閥控制 藥液輸送 控制閥 內(nèi)循環(huán) 緊湊 | ||
本實(shí)用新型提供一種電池片槽式制絨設(shè)備,包括槽本體、循環(huán)泵以及連接在所述槽本體和循環(huán)泵之間的輸送裝置,輸送裝置連接在外槽體和內(nèi)槽體之間并形成兩個(gè)輸送路徑;第一輸送路徑,藥液從外槽體到內(nèi)槽體輸送;第二輸送路徑,藥液在輸送裝置內(nèi)循環(huán);循環(huán)泵為藥液輸送和循環(huán)提供動(dòng)力;輸送裝置包括控制閥,控制閥控制第一輸送路徑和所述第二輸送路徑擇一連通。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置兩個(gè)循環(huán)輸送路徑,避免了循環(huán)泵頻繁的啟動(dòng)和關(guān)閉,延長(zhǎng)使用壽命,同時(shí)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊,成本低廉的優(yōu)點(diǎn)。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其是電池片槽式制絨設(shè)備。
背景技術(shù)
在現(xiàn)有的可持續(xù)能源中,太陽(yáng)能是一種最清潔、最普遍和最具潛力的替代能源。而太陽(yáng)能電池發(fā)電,可以將太陽(yáng)能直接轉(zhuǎn)換成電能,其發(fā)電原理是基于半導(dǎo)體PN結(jié)的光生伏特效應(yīng)。其中,晶體硅太陽(yáng)能電池由于豐富的硅儲(chǔ)量得到了廣泛應(yīng)用。
現(xiàn)有的晶體硅太陽(yáng)能電池的制備工藝如下:清洗制絨→擴(kuò)散→刻蝕/去PSG→PECVD→絲網(wǎng)印刷→燒結(jié)→測(cè)試分檔→分選→包裝。其中,制絨是為了在硅片表面形成絨面,以提高硅片的陷光作用。現(xiàn)有技術(shù)中,制絨一般在制絨槽中進(jìn)行,制絨槽一般包括槽體、藥液循環(huán)系統(tǒng)以及廢氣抽吸系統(tǒng),槽體上端口敞開(kāi)以便于取放盛放硅片的花籃,藥液循環(huán)系統(tǒng)用于循環(huán)藥液,以使藥液保持均勻的濃度,廢氣抽吸系統(tǒng)用于抽吸聚集在藥液液面上方的廢氣,用于保證工作環(huán)境的安全。
現(xiàn)有的制絨方法主要以濕法制絨應(yīng)用最為廣泛。濕法制絨設(shè)備主要是槽式制絨設(shè)備,主要包括內(nèi)槽和外槽,外槽一般環(huán)設(shè)于內(nèi)槽的外圍,內(nèi)槽的底部設(shè)有內(nèi)槽進(jìn)液口,外槽上設(shè)有外槽排液口,該外槽排液口通過(guò)循環(huán)管路與內(nèi)槽進(jìn)液口連通,從而實(shí)現(xiàn)藥液在內(nèi)外槽之間的循環(huán)流動(dòng),即外槽的藥液通過(guò)循環(huán)管路進(jìn)入內(nèi)槽,以達(dá)到內(nèi)外槽藥液均勻。
硅片制絨在濕法槽式中反應(yīng)存在這樣一個(gè)現(xiàn)象:當(dāng)藥液槽不循環(huán)時(shí),硅片在藥液槽中反應(yīng)均勻,當(dāng)藥液循環(huán)時(shí),硅片在藥液槽中反應(yīng)不均勻;在濕法槽式機(jī)量產(chǎn)過(guò)程中,每過(guò)一籃或幾籃硅片,會(huì)往藥液槽中增加藥液,為了保證藥液的時(shí)效性及均勻性,就要保證藥液能夠經(jīng)常循環(huán);這樣就有了無(wú)籃循環(huán):藥液槽體內(nèi)有硅片時(shí),藥液不循環(huán);藥液槽體無(wú)硅片時(shí),藥液循環(huán)。
目前主要通過(guò)軟件來(lái)控制循環(huán)泵的開(kāi)關(guān)來(lái)實(shí)現(xiàn)有藍(lán)或無(wú)籃循環(huán),但是經(jīng)常開(kāi)關(guān)循環(huán)泵會(huì)縮短其使用壽命,也會(huì)造成循環(huán)泵卡死,造成宕機(jī)。
因此,亟待開(kāi)發(fā)一種太陽(yáng)能電池片槽式制絨設(shè)備,以更好地實(shí)現(xiàn)內(nèi)外槽藥液循環(huán)而不致影響循環(huán)泵的壽命。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種電池片槽式制絨設(shè)備。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種電池片槽式制絨設(shè)備,包括槽本體、循環(huán)泵以及連接在所述槽本體和所述循環(huán)泵之間的輸送裝置,所述循環(huán)泵設(shè)置于所述槽本體的外部,所述槽本體包括外槽體以及設(shè)置于所述外槽體內(nèi)部的內(nèi)槽體,所述輸送裝置連接在所述外槽體和所述內(nèi)槽體之間并形成兩個(gè)輸送路徑;
第一輸送路徑,藥液從所述外槽體到所述內(nèi)槽體輸送;
第二輸送路徑,藥液在所述輸送裝置內(nèi)循環(huán);
所述循環(huán)泵為藥液輸送和循環(huán)提供動(dòng)力;
所述輸送裝置包括控制閥,所述控制閥控制所述第一輸送路徑和所述第二輸送路徑擇一連通。
作為本實(shí)用新型實(shí)施方式的進(jìn)一步改進(jìn),所述輸送裝置包括設(shè)置于所述槽本體外部的緩存槽,所述緩存槽與所述外槽體流體連通;
所述第一輸送路徑,藥液經(jīng)過(guò)所述緩存槽向所述內(nèi)槽體輸送;
所述第二輸送路徑,藥液經(jīng)過(guò)所述緩存槽進(jìn)行內(nèi)循環(huán)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





