[實(shí)用新型]防呆型化學(xué)桶快速連接接頭

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821919890.6
• 申請(qǐng)日: 2018-11-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209229202U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡厚福;簡(jiǎn)建至;郭家宏;薛貝貝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 冠禮控制科技（上海）有限公司
• 主分類號(hào): F16L39/06
• 分類號(hào): F16L39/06
• 代理公司: 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253
• 代理人: 楊軍

本實(shí)用新型涉及一種防呆型化學(xué)桶快速連接接頭，包括出液管、出液接頭、氮?dú)庋a(bǔ)氣接頭、固定旋轉(zhuǎn)軸、固定密封蓋、桶上接頭及汲取管，所述出液管密封連接出液接頭，所述出液接頭上設(shè)有氮?dú)庋a(bǔ)氣接頭，所述出液接頭密封連接固定旋轉(zhuǎn)軸，所述固定旋轉(zhuǎn)軸密封連接桶上接頭，所述桶上接頭外圍套接固定密封蓋，所述固定密封蓋配合連接桶上接頭，所述桶上接頭密封連接汲取管；本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，使用非常安全，同時(shí)滿足汲取液體和補(bǔ)充氮?dú)獾牡氖褂眯枨蟆⒐潭芊馍w上增加凸塊和桶上接頭上凹槽設(shè)計(jì)，使得每一個(gè)接頭對(duì)應(yīng)唯一的化學(xué)藥液桶，從更本上杜絕的用錯(cuò)化學(xué)藥液的安全生產(chǎn)事故，可以快速使用，提高了工作效率。

[技術(shù)領(lǐng)域]

本實(shí)用新型涉及化學(xué)品供應(yīng)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種防呆型化學(xué)桶快速連接接頭。

[背景技術(shù)]

在隨著我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，集成電路生產(chǎn)線在我國(guó)也已開(kāi)始越來(lái)越規(guī)模化。半導(dǎo)體制程前端的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其工作中的任何問(wèn)題都可能會(huì)造成不可估量的損失，因此為了不斷提高化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。半導(dǎo)體制造廠商已越來(lái)越重視該制程中的每一個(gè)化學(xué)品供應(yīng)設(shè)備。而化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的化學(xué)品的來(lái)源，一般分3大類，分別是槽車(LORRY),標(biāo)準(zhǔn)桶槽(Chemical Container),以及本地儲(chǔ)存桶槽(Local Tank)。由于集成電路制造工藝中需要使用到較多種類的化學(xué)品。因此對(duì)比在有限的場(chǎng)地條件下大部分廠商都會(huì)對(duì)使用量相對(duì)不大的化學(xué)品都運(yùn)用雙標(biāo)準(zhǔn)桶(Dual Drum)供應(yīng)系統(tǒng)方式。并運(yùn)用人工換桶的方式來(lái)進(jìn)行化學(xué)品的補(bǔ)充。

根據(jù)目前化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)人工換桶的使用的情況，將化學(xué)品經(jīng)從酸桶分配至不同的用戶端之前，需要人力對(duì)化學(xué)品桶更換接頭并保證其正確對(duì)應(yīng)需要的化學(xué)品，以保證用戶端能夠攝取到符合需求的化學(xué)品。對(duì)于化學(xué)品供應(yīng)桶來(lái)說(shuō)，由于需要在向供應(yīng)系統(tǒng)供給化學(xué)品時(shí)進(jìn)行氮?dú)獾榷栊詺怏w的補(bǔ)充以獲得桶內(nèi)的壓力平衡，因此會(huì)在化學(xué)品桶上分別開(kāi)設(shè)一個(gè)氣口和一個(gè)化學(xué)品進(jìn)出口，由于半導(dǎo)體化學(xué)品都是屬于危險(xiǎn)化學(xué)品，即使在使用專用工具的條件下，更換化學(xué)品桶對(duì)于操作人員來(lái)說(shuō)也是一項(xiàng)費(fèi)時(shí)費(fèi)力的工作，主要原因是為了防止化學(xué)品的泄露和錯(cuò)換接頭，所以為了防止錯(cuò)換接頭，所以接頭設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜。由于目前化學(xué)品桶更換方式的固定，使得無(wú)法實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，所以現(xiàn)有電子級(jí)化學(xué)品換桶部件自動(dòng)化程度低，安全保護(hù)措施不充分等問(wèn)題。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，因此對(duì)設(shè)備生產(chǎn)效率，潔凈度，安全性等也提出更高的要求。

[實(shí)用新型內(nèi)容]

本實(shí)用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種防呆型化學(xué)桶快速連接接頭。結(jié)構(gòu)緊湊，使用非常安全，同時(shí)滿足汲取液體和補(bǔ)充氮?dú)獾牡氖褂眯枨蟆⒐潭芊馍w上增加凸塊和桶上接頭上凹槽設(shè)計(jì)，使得每一個(gè)接頭對(duì)應(yīng)唯一的化學(xué)藥液桶，從更本上杜絕的用錯(cuò)化學(xué)藥液的安全生產(chǎn)事故，可以快速使用，提高了工作效率。

為實(shí)現(xiàn)上述目的設(shè)計(jì)一種防呆型化學(xué)桶快速連接接頭，包括出液管1、出液接頭14、氮?dú)庋a(bǔ)氣接頭15、固定旋轉(zhuǎn)軸5、固定密封蓋8、桶上接頭13及汲取管17，所述出液管1密封連接出液接頭14，所述出液接頭14上設(shè)有氮?dú)庋a(bǔ)氣接頭15，所述氮?dú)庋a(bǔ)氣接頭15進(jìn)氣口端密封連接氮?dú)膺M(jìn)氣管，所述出液接頭14內(nèi)部設(shè)有與氮?dú)庋a(bǔ)氣接頭15相連通的氮?dú)馀酝ü芏?，所述出液接頭14下端密封連接固定旋轉(zhuǎn)軸5，所述出液接頭14內(nèi)部出液管穿過(guò)固定旋轉(zhuǎn)軸5，所述固定旋轉(zhuǎn)軸5內(nèi)部設(shè)有與氮?dú)馀酝ü芏?相連通的空腔19，所述固定旋轉(zhuǎn)軸5外圍套接固定密封蓋8，所述固定密封蓋8下端配合連接桶上接頭13，所述固定密封蓋8下端面設(shè)有判別密封凸塊9，所述桶上接頭13上端面設(shè)有與判別密封凸塊9相對(duì)應(yīng)的判別密封凹槽10，所述固定旋轉(zhuǎn)軸5密封連接桶上接頭13，所述固定旋轉(zhuǎn)軸5中心的出液管插入連接桶上接頭13內(nèi)部，所述桶上接頭13下端密封連接汲取管17，所述汲取管17與桶上接頭13內(nèi)部的出液管相連通，所述桶上接頭13內(nèi)部設(shè)有與固定旋轉(zhuǎn)軸5內(nèi)部空腔19相連通的氮?dú)馀酝ü苋?1，所述氮?dú)馀酝ü苋?1下端與化學(xué)藥液桶16內(nèi)部空腔相連通。

進(jìn)一步地，所述固定旋轉(zhuǎn)軸5下端外圓面上設(shè)有外螺紋4，所述桶上接頭13內(nèi)部?jī)?nèi)圓面上設(shè)有與外螺紋4相配合的內(nèi)螺紋18。