[實(shí)用新型]石英掩膜結(jié)構(gòu)體

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821909824.0
• 申請(qǐng)日: 2018-11-19
• 公開（公告）號(hào): CN209412300U
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 代瑞娜;張曉軍;李炳坤;胡凱;陳志強(qiáng);方安安;姜鷺;潘恒;王巖;王峻嶺
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市矩陣多元科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C16/04
• 代理公司: 深圳市華優(yōu)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44319
• 代理人: 余薇

1.一種石英掩膜結(jié)構(gòu)體，其特征在于，包括第一石英掩膜框、第二石英掩膜框以及設(shè)置在所述第一石英掩膜框和第二第一石英掩膜框之間的石英掩膜板，所述第二石英掩膜框底部設(shè)置有收容所述石英掩膜板的凹槽，所述第一石英掩膜框設(shè)置有多個(gè)用于剛好收容多個(gè)小面積基底的基底孔，所述第二石英掩膜框?qū)?yīng)設(shè)置有多個(gè)正對(duì)所述第一石英掩膜板的基底孔的鍍膜孔，用于通過脈沖激光對(duì)收容在所述基底孔內(nèi)的基底進(jìn)行鍍膜，所述石英掩膜板設(shè)置有掩膜板孔，所述鍍膜孔的尺寸略小于所述石英掩膜板的尺寸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英掩膜結(jié)構(gòu)體，其特征在于，所述鍍膜孔和基底孔呈網(wǎng)格排列。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英掩膜結(jié)構(gòu)體，其特征在于，所述第一石英掩膜框和第二石英掩膜框的邊緣還對(duì)應(yīng)設(shè)置有用于所述基底孔和鍍膜孔對(duì)齊的定位孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英掩膜結(jié)構(gòu)體，其特征在于，所述第一石英掩膜框和第二石英掩膜框的邊緣還對(duì)應(yīng)設(shè)置有用于緊固所述第一石英掩膜板和第二石英掩膜板的緊固件。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英掩膜結(jié)構(gòu)體，其特征在于，所述的掩膜板厚度不超過0.2mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的石英掩膜結(jié)構(gòu)體，其特征在于，所述基底對(duì)應(yīng)一個(gè)或者多個(gè)掩膜板孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的石英掩膜結(jié)構(gòu)體，其特征在于，所述緊固件為螺絲、螺栓或固定夾具。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英掩膜結(jié)構(gòu)體，其特征在于，所述第一石英掩膜板的基底孔的深度等于基底的厚度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英掩膜結(jié)構(gòu)體，其特征在于，所述鍍膜孔和基底孔為圓形、矩形或方形。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英掩膜結(jié)構(gòu)體，其特征在于，所述基底孔的尺寸略大于基底。