[實用新型]一種集中供液裝置

有效

• 申請號: 201821891415.2
• 申請日: 2018-11-16
• 公開（公告）號: CN209039631U
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 張銀鵬;王進
• 申請（專利權）人: 宇澤（江西）半導體有限公司
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10;C30B29/06;H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種集中供液裝置，包括儲液箱體(4)，其特征在于，所述儲液箱體(4)的底部中央外壁通過螺栓連接有豎直設置的隔板(23)，所述儲液箱體(4)兩側中部外壁均通過螺栓連接有兩個相鄰豎直設置的電動導軌(5)，且四個電動導軌(5)的相鄰一側外壁均滑動連接有電動滑塊(3)，隔板(23)同一側的兩個電動滑塊(3)的相鄰一側外壁均通過螺栓連接有同一個水平設置的支撐板(18)，兩個所述支撐板(18)的頂部中央外壁開設有均勻設置的導液孔(17)，所述儲液箱體(4)頂部的兩端外壁均開設有第一通孔，且兩個第一通孔的內壁均通過螺栓連接有第一導液管(8)，兩個所述支撐板(18)的頂部中央外壁均設置有第二通孔，且兩個第二通孔的內壁分別與兩個第一導液管(8)的圓周頂部外壁滑動連接，兩個所述第一導液管(8)的頂部一側外壁均通過螺栓連接有抽液泵(9)，兩個所述第一導液管(8)的頂部中央外壁均通過螺栓連接有流量計(10)，兩個所述第一導液管(8)的頂部另一側內壁均通過螺栓連接有電磁閥(11)，兩個所述第一導液管(8)的另一端外壁均通過螺栓連接有第二導液管(12)，且兩個第二導液管(12)的底部外壁均通過螺栓連接有同一個分液管(13)，所述分液管(13)兩端中部的內壁均通過軸承連接有轉動軸，且兩個轉動軸的相鄰一端外壁均通過螺栓連接有同一個擋板(21)。

2.根據權利要求1所述的一種集中供液裝置，其特征在于，所述分液管(13)的底部外壁通過螺栓連接有等距離設置的第三導液管(22)。

3.根據權利要求2所述的一種集中供液裝置，其特征在于，所述分液管(13)底部兩端的外壁均通過螺栓連接有同一個水平設置的支撐底板(16)，且支撐底板(16)的頂部外壁開設有等距離水平設置的制絨槽(14)。

4.根據權利要求3所述的一種集中供液裝置，其特征在于，所述第三導液管(22)的底部外壁分別與制絨槽(14)一端的外壁連接。

5.根據權利要求4所述的一種集中供液裝置，其特征在于，所述支撐底板(16)底部另一側的兩端外壁均通過螺栓連接有支撐塊(15)。

6.根據權利要求5所述的一種集中供液裝置，其特征在于，所述儲液箱體(4)頂部一側的兩端外壁均通過螺栓連接有豎直設置的進料管(7)，且兩個進料管(7)的圓周頂部外壁均通過螺紋連接有進料管蓋(6)，所述儲液箱體(4)一側底部的兩端外壁均通過螺栓連接有水平設置的排液管(1)，且兩個排液管(1)的圓周另一端外壁均通過螺紋連接有排液管蓋(2)，所述儲液箱體(4)底部四角外壁均通過螺栓連接有橡膠墊(19)。

7.根據權利要求6所述的一種集中供液裝置，其特征在于，所述電動滑塊(3)、抽液泵(9)、電磁閥(11)和流量計(10)均通過導線電性連接有開關，且開關通過導線電性連接有電源。