[實用新型]一種真空腔體

有效

• 申請號: 201821886650.0
• 申請日: 2018-11-14
• 公開（公告）號: CN209562884U
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發明（設計）人: 王漢清;楊圓明;趙鑫
• 申請（專利權）人: 新奧科技發展有限公司
• 主分類號: H05H1/00
• 分類號: H05H1/00
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種真空腔體，其特征在于，包括支撐架以及多塊安裝在所述支撐架上用于與所述支撐架圍成真空腔室的蓋板；所述蓋板包括允許射頻波穿過的非金屬絕緣蓋板；所述支撐架上設有至少一組加固組件，所述加固組件位于所述非金屬絕緣蓋板面向所述真空腔室的一側，并用于支撐所述非金屬絕緣蓋板。

2.根據權利要求1所述的真空腔體，其特征在于，

所述支撐架包括相對設置的第一安裝部和第二安裝部，所述第一安裝部通過多根支撐桿與所述第二安裝部連接；

所述加固組件包括至少兩根沿直線順次設置的加固桿；其中，第一根加固桿和最后一根加固桿分別與對應的支撐桿連接，且每相鄰的兩根加固桿之間通過調節套相連。

3.根據權利要求2所述的真空腔體，其特征在于，

各所述非金屬絕緣蓋板分別與所述第一安裝部、所述第二安裝部以及至少兩根支撐桿固定連接。

4.根據權利要求3所述的真空腔體，其特征在于，在與所述非金屬絕緣蓋板固定連接的至少兩根所述支撐桿中，所述加固組件設置于每相鄰的兩根所述支撐桿之間。

5.根據權利要求3所述的真空腔體，其特征在于，所述第一安裝部、所述第二安裝部以及所述至少兩根支撐桿各自用于與對應的所述非金屬絕緣蓋板連接的部分，分別設有密封槽以及固定安裝孔；

所述非金屬絕緣蓋板通過設在所述密封槽內的密封圈與所述第一安裝部、所述第二安裝部以及至少兩根支撐桿密封連接；所述非金屬絕緣蓋板通過螺栓緊固件與所述固定安裝孔固定連接。

6.根據權利要求5所述的真空腔體，其特征在于，

所述密封圈在自然狀態時伸出所述密封槽的高度等于所述密封槽槽深的1/4；

或，所述密封圈在自然狀態時伸出所述密封槽的高度等于所述密封槽槽深的1/3；

或，所述密封圈在自然狀態時伸出所述密封槽的高度大于所述密封槽槽深的1/4，且小于所述密封槽槽深的1/3。

7.根據權利要求5所述的真空腔體，其特征在于，所述密封圈包括氟橡膠密封圈。

8.根據權利要求1所述的真空腔體，其特征在于，

所述非金屬絕緣蓋板上設有至少一個與所述真空腔室連通的功能孔；

所述功能孔包括抽氣孔、真空壓力測試孔或診斷設備檢測孔。

9.根據權利要求1-8任一項所述的真空腔體，其特征在于，所述非金屬絕緣蓋板包括聚碳酸酯板、石英玻璃板或有機玻璃板。

10.根據權利要求1-8任一項所述的真空腔體，其特征在于，所述支撐架包括金屬支撐架。