[實(shí)用新型]帶斷裂結(jié)構(gòu)體聲波諧振器、濾波器和電子設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821875912.3
• 申請(qǐng)日: 2018-11-14
• 公開（公告）號(hào): CN209844929U
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張孟倫;龐慰;劉伯華;楊清瑞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津大學(xué);諾思(天津)微系統(tǒng)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H03H3/02
• 分類號(hào): H03H3/02;H03H3/04;H03H9/58
• 代理公司: 11651 北京金誠(chéng)同達(dá)律師事務(wù)所
• 代理人: 湯雄軍

1.一種體聲波諧振器，包括：

基底；

聲學(xué)鏡；

底電極，設(shè)置在基底上方；

頂電極，與所述底電極對(duì)置，所述頂電極具有主體部以及與主體部連接的連接部；

壓電層，設(shè)置在底電極上方以及底電極與頂電極之間；和

鈍化層，設(shè)置在頂電極上方，

其特征在于：

聲學(xué)鏡、底電極、壓電層、頂電極在基底的厚度方向重疊的區(qū)域?yàn)橹C振器的有效區(qū)域，所述鈍化層鄰近所述有效區(qū)域的邊界、在所述連接部上方設(shè)置有至少一個(gè)第一斷裂結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其特征在于：

所述連接部具有傾斜面，所述第一斷裂結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述傾斜面處。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的諧振器，其特征在于：

所述連接部形成橋部結(jié)構(gòu)，橋部結(jié)構(gòu)與壓電層之間形成空氣隙，所述傾斜面包括所述橋部結(jié)構(gòu)的鄰近所述邊界的第一傾斜面以及鄰近頂電極引線的第二傾斜面，所述第一斷裂結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述第一傾斜面處。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的諧振器，其特征在于：

所述鈍化層還包括設(shè)置在所述第二傾斜面處的至少一個(gè)第二斷裂結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其特征在于：

所述連接部為水平的連接部。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其特征在于：

所述頂電極在與所述連接部相對(duì)的一側(cè)還設(shè)置有橋翼結(jié)構(gòu)，所述橋翼結(jié)構(gòu)具有橋翼斜面，所述橋翼結(jié)構(gòu)與壓電層之間形成空氣隙。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的諧振器，其特征在于：

所述鈍化層還包括設(shè)置在所述橋翼斜面上方的至少一個(gè)第三斷裂結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其特征在于：

所述斷裂結(jié)構(gòu)的深度小于所述鈍化層的厚度。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的諧振器，其特征在于：

所述斷裂結(jié)構(gòu)的深度為所述鈍化層的厚度的5％-30％。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的諧振器，其特征在于：

所述斷裂結(jié)構(gòu)的深度的取值范圍為

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其特征在于：

至少部分所述斷裂結(jié)構(gòu)的深度等于所述鈍化層的厚度。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的諧振器，其特征在于：

所述鈍化層的厚度的取值范圍為

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其特征在于：

在所述頂電極的下方或者在所述頂電極的橫向外側(cè)，鄰近所述有效區(qū)域的邊界在所述壓電層中設(shè)置有至少一個(gè)第四斷裂結(jié)構(gòu)。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的諧振器，其特征在于：

所述第四斷裂結(jié)構(gòu)的寬度為所述有效區(qū)域的橫向?qū)挾鹊?-10％。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的諧振器，其特征在于：

所述第四斷裂結(jié)構(gòu)的深度為所述壓電層的厚度的1-15％。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的諧振器，其特征在于：

所述第四斷裂結(jié)構(gòu)的深度的取值范圍為

17.根據(jù)權(quán)利要求1-16中任一項(xiàng)所述的諧振器，其特征在于：

所述斷裂結(jié)構(gòu)的寬度的取值范圍為0.1-10um。

18.根據(jù)權(quán)利要求1-16中任一項(xiàng)所述的諧振器，其特征在于：

所述斷裂結(jié)構(gòu)的截面形狀為圓弧狀、傾斜狀、階梯狀、扇形狀中的一種。