[實(shí)用新型]一種單晶降溫裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821874764.3
• 申請(qǐng)日: 2018-11-14
• 公開（公告）號(hào): CN209508453U
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王立剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 內(nèi)蒙古中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類號(hào): C30B35/00
• 分類號(hào): C30B35/00
• 代理公司: 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種單晶降溫裝置，包括降溫室和運(yùn)輸裝置，其特征在于：所述降溫室為密閉空間，所述降溫室兩側(cè)分別設(shè)有進(jìn)料口和出料口，所述進(jìn)料口和所述出料口處設(shè)有密封門，所述進(jìn)料口與所述出料口之間設(shè)有傳動(dòng)裝置，所述傳動(dòng)裝置包括傳送滾筒，所述傳送滾筒為多個(gè)，所述傳送滾筒通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接且平行分布，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述傳動(dòng)裝置置于所述降溫室內(nèi)部，所述降溫室內(nèi)部置有制冷劑，所述制冷劑置于所述傳動(dòng)裝置下部，所述運(yùn)輸裝置包括兩個(gè)，所述運(yùn)輸裝置分別置于所述進(jìn)料口處和所述出料口處，所述運(yùn)輸裝置上設(shè)有單晶支架，所述單晶支架的高度與所述傳動(dòng)裝置的高度一致。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶降溫裝置，其特征在于：所述傳送滾筒包括滾筒軸和筒體，所述筒體置于所述滾筒軸外表面中心處，所述滾筒軸與所述筒體同軸心，所述滾筒軸兩端長于所述筒體。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶降溫裝置，其特征在于：所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)為密封圈，所述傳送滾筒包括動(dòng)力滾筒和無動(dòng)力滾筒，所述動(dòng)力滾筒置于中間部位，所述無動(dòng)力滾筒置于所述動(dòng)力滾筒兩側(cè)平行分布，所述筒體端部外表面設(shè)有凹槽，相鄰兩根所述傳送滾筒通過所述密封圈連接，所述密封圈置于所述凹槽內(nèi)，所述動(dòng)力滾筒連接所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶降溫裝置，其特征在于：所述傳動(dòng)裝置包括運(yùn)輸軌道，所述運(yùn)輸軌道包括第一基板和第二基板，所述第一基板與所述第二基板平行，所述筒體置于所述第一基板與所述第二基板之間，所述滾筒軸兩端分別鉸接在所述第一基板與所述第二基板上，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)為傳動(dòng)齒輪，所述傳動(dòng)齒輪套于所述滾筒軸兩端端部，相鄰的所述傳動(dòng)齒輪相互嚙合，所述傳動(dòng)齒輪連接所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶降溫裝置，其特征在于：所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)為傳動(dòng)飛輪和傳動(dòng)鏈條，所述傳動(dòng)飛輪套于所述滾筒軸兩端端部，所述傳動(dòng)鏈條與所述傳動(dòng)飛輪上的鍵相互嚙合，所述傳動(dòng)飛輪連接所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的一種單晶降溫裝置，其特征在于：所述運(yùn)輸裝置為單晶運(yùn)輸車，所述單晶運(yùn)輸車底部設(shè)有萬向輪，所述單晶支架底部設(shè)有升降裝置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的一種單晶降溫裝置，其特征在于：所述制冷劑為干冰，所述降溫室連接二氧化碳回收裝置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種單晶降溫裝置，其特征在于：所述二氧化碳回收裝置包括過冷器和二氧化碳儲(chǔ)存罐，所述過冷器一端通過管路連接所述降溫室，所述過冷器另一端通過管路連接所述二氧化碳儲(chǔ)存罐。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的一種單晶降溫裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為動(dòng)力電機(jī)。

10.根據(jù)權(quán)利要求2至5任一所述的一種單晶降溫裝置，其特征在于：所述筒體外表面設(shè)有防滑裝置。