[實(shí)用新型]一種硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅熱分解爐用石墨夾頭

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821850986.1
• 申請(qǐng)日: 2018-11-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209367813U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李紅彬;許鵬;楊鵬舉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 河南硅烷科技發(fā)展股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C01B33/035
• 分類(lèi)號(hào): C01B33/035
• 代理公司: 許昌豫創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 41140
• 代理人: 李海帆

1.一種硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅熱分解爐用石墨夾頭，其特征在于：包括石墨底座（1）、錐形部（2）、圓柱部（3）和環(huán)形支撐板（4），其中，所述石墨底座（1）下部中心位置設(shè)置有圓錐形電極插孔（11），所述石墨底座（1）上部中心位置設(shè)置有倒圓錐形插槽（12），所述插孔（11）和插槽（12）之間通過(guò)軸向的連接孔（13）相通，所述錐形部（2）與所述插槽（12）相適配，所述錐形部（2）頂端固定連接有所述圓柱部（3），所述圓柱部（3）外側(cè)固定連接有所述環(huán)形支撐板（4），所述環(huán)形支撐板（4）外側(cè)面設(shè)置有夾持凹槽（5），所述錐形部（2）內(nèi)部底部設(shè)置有第一夾持孔（6），所述第一夾持孔（6）上方設(shè)置有第二夾持孔（7），所述圓柱部（3）內(nèi)部設(shè)置有第三夾持孔（8），所述第一夾持孔（6）、第二夾持孔（7）和第三夾持孔（8）內(nèi)部相通且呈階梯狀設(shè)置，所述第一夾持孔（6）和第三夾持孔（8）為圓柱形結(jié)構(gòu)，所述第二夾持孔（7）為倒錐形結(jié)構(gòu)，且所述第二夾持孔（7）的底面直徑大于所述第一夾持孔（6）直徑，所述第二夾持孔（7）的頂面直徑小于第三夾持孔（8）直徑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅熱分解爐用石墨夾頭，其特征在于：所述錐形部（2）、圓柱部（3）和環(huán)形支撐板（4）為一體式結(jié)構(gòu)設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅熱分解爐用石墨夾頭，其特征在于：所述夾持凹槽（5）內(nèi)表面設(shè)置有防滑紋。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅熱分解爐用石墨夾頭，其特征在于：所述環(huán)形支撐板（4）的底端外側(cè)還固定連接有環(huán)形側(cè)板（9）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅熱分解爐用石墨夾頭，其特征在于：所述環(huán)形側(cè)板（9）的內(nèi)側(cè)面與所述石墨底座（1）的外側(cè)面頂端端面貼緊連接，或者通過(guò)螺紋連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅熱分解爐用石墨夾頭，其特征在于：所述環(huán)形支撐板（4）和環(huán)形側(cè)板（9）為一體式結(jié)構(gòu)設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅熱分解爐用石墨夾頭，其特征在于：所述錐形部錐度為6-10度。