[實用新型]基于二硒化鎢的微型壓阻式應力傳感器有效
| 申請號： | 201821836232.0 | 申請日： | 2018-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN209446198U | 公開（公告）日： | 2019-09-27 |
| 發明（設計）人： | 李鵬;耿策洋 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | G01L1/18 | 分類號： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 西安智大知識產權代理事務所 61215 | 代理人： | 段俊濤 |
| 地址： | 100084 北京市海淀區1*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 二硒化鎢 應力傳感器 氮化硼層 金屬電極 壓阻式 本實用新型 長期穩定性 從上到下 二維材料 敏感材料 柔性基底 壓阻特性 應力檢測 保護層 氮化硼 抗彎折 靈敏度 能力強 上表面 體積小 易加工 單層 量程 敏感 | ||
【權利要求書】：
1.基于二硒化鎢的微型壓阻式應力傳感器，其特征在于，結構從上到下依次為氮化硼層(1-1)、金屬電極(1-2)、二硒化鎢層(1-3)和柔性基底(1-4)；二硒化鎢層(1-3)兩端與金屬電極(1-2)相連；二硒化鎢層(1-3)的上表面被氮化硼層(1-1)完全覆蓋；
所述二硒化鎢層(1-3)為二維材料，即厚度方向僅有單層原子或少數幾層原子。
2.根據權利要求1所述的基于二硒化鎢的微型壓阻式應力傳感器，其特征在于，所述的少數幾層為1-10層。
3.根據權利要求1所述的基于二硒化鎢的微型壓阻式應力傳感器，其特征在于，所述金屬電極1-2材料選用Au、Ag、Cu、Al、Pt中的任意一種，厚度為20-200納米。
4.根據權利要求1所述的基于二硒化鎢的微型壓阻式應力傳感器，其特征在于，所述氮化硼層(1-1)為二維材料，即厚度方向僅有單層原子或少數幾層原子。
5.根據權利要求4所述的基于二硒化鎢的微型壓阻式應力傳感器，其特征在于，所述的少數幾層為1-10層。
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