[實用新型]用于芯片老化測試設(shè)備的釋放吸頭有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821835220.6 | 申請日： | 2018-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN209364648U | 公開（公告）日： | 2019-09-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 曾令強;周宣名 | 申請（專利權(quán)）人： | 英特爾產(chǎn)品（成都）有限公司;英特爾公司 |
| 主分類號： | B25J15/06 | 分類號： | B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京永新同創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11376 | 代理人： | 鐘勝光 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 機械手臂 吸頭 螺紋連接 本實用新型 測試設(shè)備 負壓通道 芯片老化 基墊 老化測試設(shè)備 機械手 快速釋放 整體更換 釋放 低成本 芯片 申請 | ||
1.一種用于芯片老化測試設(shè)備的釋放吸頭，其特征在于：包括機械手臂(1)，所述機械手臂(1)的端部安裝有螺紋連接蓋(2)，所述機械手臂(1)上設(shè)置有負壓通道，所述負壓通道連接在螺紋連接蓋(2)內(nèi)；還包括吸頭基墊(3)，所述吸頭基墊(3)包括用于與機械手臂(1)的螺紋連接蓋(2)螺紋連接的連接部(4)和用于吸取芯片的吸頭部(5)；所述吸頭基墊(3)上設(shè)置有負壓孔(6)，所述負壓孔(6)與螺紋連接蓋(2)內(nèi)的負壓通道相對應(yīng)；所述負壓孔(6)貫穿吸頭基墊(3)的連接部(4)和吸頭部(5)，所述吸頭基墊(3)的吸頭部(5)上設(shè)置有泡沫基墊，所述泡沫基墊中空，泡沫基墊固定連接在吸頭基墊(3)的吸頭部(5)上，泡沫基墊的中空形成的空腔與吸頭基墊(3)的負壓孔(6)相連通，形成負壓腔。
2.如權(quán)利要求1所述的用于芯片老化測試設(shè)備的釋放吸頭，其特征在于：所述吸頭基墊(3)的吸頭部(5)上設(shè)置有若干個用于安裝泡沫基墊的安裝槽(7)。
3.如權(quán)利要求1所述的用于芯片老化測試設(shè)備的釋放吸頭，其特征在于：所述吸頭基墊(3)上的負壓孔(6)位于連接部(4)表面的一端設(shè)置有一環(huán)形凹槽(8)，所述環(huán)形凹槽(8)與負壓孔(6)同心。
4.如權(quán)利要求3所述的用于芯片老化測試設(shè)備的釋放吸頭，其特征在于：所述吸頭基墊(3)上的負壓孔(6)位于吸頭部(5)表面的一端設(shè)置有開孔(9)。
5.如權(quán)利要求1-4任意一項所述的用于芯片老化測試設(shè)備的釋放吸頭，其特征在于：所述吸頭基墊(3)上的連接部(4)表面設(shè)置有定位基準(zhǔn)點(10)，所述定位基準(zhǔn)點(10)與機械手臂(1)上的負壓通道輸出端面上的定位凹槽相對應(yīng)。
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