[實(shí)用新型]一種晶棒性能連續(xù)測(cè)試架

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821834908.2
• 申請(qǐng)日: 2018-11-08
• 公開（公告）號(hào): CN209400568U
• 公開（公告）日: 2019-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 屈元武;蔣思鵬;王亮;張立業(yè);王天野
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津市聯(lián)創(chuàng)混凝土有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/04
• 分類號(hào): G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 北京中企鴻陽知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11487
• 代理人: 李文麗

本實(shí)用新型公開了一種晶棒性能連續(xù)測(cè)試架，包括架體、測(cè)試裝置、轉(zhuǎn)盤和固定座，所述架體底部的四個(gè)拐角處均安裝有可調(diào)機(jī)腳，且架體的頂端固定有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)頂部的一端固定有支撐柱，且支撐柱一側(cè)的底端設(shè)置有控制面板，所述支撐柱的一端固定有橫桿，且橫桿遠(yuǎn)離支撐柱的一端通過鉸接軸鉸接有環(huán)箍，所述環(huán)箍的內(nèi)部套設(shè)有測(cè)試裝置，且測(cè)試裝置的底端安裝有檢測(cè)頭，所述固定座上均設(shè)置有紅外線接收器。本實(shí)用新型通過安裝有伺服電機(jī)、轉(zhuǎn)盤、測(cè)試裝置以及檢測(cè)頭，在轉(zhuǎn)盤上均勻設(shè)置有固定座，使得便于伺服電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)，將固定座旋轉(zhuǎn)到檢測(cè)頭的下方進(jìn)行檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)多工位檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)試。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶棒測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶棒性能連續(xù)測(cè)試架。

背景技術(shù)

單晶硅是硅的單晶體，具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體，不同的方向具有不同的性質(zhì)，是一種良好的半導(dǎo)材料，晶棒是指整個(gè)的單晶硅，因?yàn)閱尉Ч璋舻闹谱魇怯弥崩▍^(qū)熔法制作完成的，其成品均為棒狀，故稱為晶棒，目前為了方便硅材料的切割和加工，需要先對(duì)晶棒進(jìn)行電阻率分布情況的檢測(cè)。

傳統(tǒng)的晶棒性能測(cè)試需要人工手動(dòng)使用檢測(cè)儀來進(jìn)行檢測(cè)，費(fèi)時(shí)費(fèi)力，勞動(dòng)強(qiáng)度較大，而現(xiàn)階段的部分測(cè)試裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，功能單一，測(cè)試裝置的空間較小，一次只能對(duì)一個(gè)晶棒進(jìn)行測(cè)試，同時(shí)也無法固定限位不同規(guī)格大小的晶棒，無法滿足不同的測(cè)試需求，同時(shí)現(xiàn)有的測(cè)試探頭無法自由調(diào)節(jié)高度角度，不便于對(duì)晶棒的不同位置進(jìn)行檢測(cè)，測(cè)試不夠全面，此外，檢測(cè)頭也無法便捷拆卸更換，因此急需一種晶棒性能連續(xù)測(cè)試架來滿足人們的需求。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶棒性能連續(xù)測(cè)試架，以解決上述背景技術(shù)中提出的傳統(tǒng)的人工檢測(cè)費(fèi)時(shí)費(fèi)力，現(xiàn)有的裝置無法連續(xù)測(cè)試，無法固定限位不同規(guī)格的晶棒，探頭無法調(diào)節(jié)以及檢測(cè)頭也無法便捷拆卸更換的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種晶棒性能連續(xù)測(cè)試架，包括架體、測(cè)試裝置、轉(zhuǎn)盤和固定座，所述架體底部的四個(gè)拐角處均安裝有可調(diào)機(jī)腳，且架體的頂端固定有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)頂部的一端固定有支撐柱，且支撐柱一側(cè)的底端設(shè)置有控制面板，所述支撐柱的一端固定有橫桿，且橫桿遠(yuǎn)離支撐柱的一端通過鉸接軸鉸接有環(huán)箍，所述環(huán)箍的內(nèi)部套設(shè)有測(cè)試裝置，且測(cè)試裝置的底端安裝有檢測(cè)頭，所述檢測(cè)頭的一側(cè)固定有紅外線發(fā)射器，所述工作臺(tái)頂部的另一端設(shè)置有轉(zhuǎn)盤，且工作臺(tái)的底端固定有伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的輸出端通過轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)盤連接，且轉(zhuǎn)盤的頂端均勻固定有固定座，所述固定座上均設(shè)置有紅外線接收器。

優(yōu)選的，所述架體呈“H”型結(jié)構(gòu)，且架體與工作臺(tái)為焊接一體化結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述支撐柱靠近橫桿的一端設(shè)置有電磁滑軌，且橫桿靠近支撐柱的一端設(shè)置有與電磁滑軌相互配合的滑塊，所述橫桿通過滑塊與電磁滑軌構(gòu)成滑動(dòng)機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述測(cè)試裝置的底端設(shè)置有卡槽，所述檢測(cè)頭的頂端設(shè)置有與卡槽相互配合的卡塊，且檢測(cè)頭與測(cè)試裝置構(gòu)成安裝拆卸結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述固定座頂部的兩端均通過復(fù)位彈簧固定有夾板，且夾板關(guān)于固定座左右對(duì)稱分布。

優(yōu)選的，所述固定座的數(shù)量設(shè)置為四個(gè)，且相鄰固定座之間的夾角均為九十度。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

(1)該晶棒性能連續(xù)測(cè)試架通過安裝有伺服電機(jī)、轉(zhuǎn)盤、測(cè)試裝置以及檢測(cè)頭，在轉(zhuǎn)盤上均勻設(shè)置有固定座，使得便于伺服電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)，將固定座旋轉(zhuǎn)到檢測(cè)頭的下方進(jìn)行檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)多工位檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)試，提高測(cè)試效率。

(2)該晶棒性能連續(xù)測(cè)試架通過安裝卡塊、卡槽以及檢測(cè)頭，使得便于通過卡塊與卡槽的相互關(guān)系，將檢測(cè)頭螺入測(cè)試裝置的卡槽內(nèi)，便于檢測(cè)頭的固定安裝與拆卸，便于根據(jù)不同的測(cè)試需求進(jìn)行更換檢測(cè)頭，同時(shí)也便于在出現(xiàn)故障或損壞時(shí)進(jìn)行檢修維護(hù)。