[實(shí)用新型]基板雙面處理高效傳遞系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821825648.2
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN208767274U
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彭博;徐春旭
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

1.一種基板雙面處理高效傳遞系統(tǒng)，其特征在于，包括片盒單元(1)、基板傳遞機(jī)器人A(2)、中間單元(3)、第一清洗單元(4)、基板傳遞機(jī)器人B(5)及第二清洗單元(6)，其中，

所述片盒單元(1)用于存儲晶圓；

所述基板傳遞機(jī)器人A(2)用于在所述片盒單元(1)和中間單元(3)之間進(jìn)行晶圓傳輸；

所述中間單元(3)用于晶圓的緩存和翻轉(zhuǎn)；

所述基板傳遞機(jī)器人B(5)用于在所述中間單元(3)和清洗單元之間進(jìn)行晶圓傳輸；

所述第一清洗單元(4)和第二清洗單元(6)分別設(shè)置于所述基板傳遞機(jī)器人B(5)的兩側(cè)，用于對晶圓的背面及正面進(jìn)行清洗。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板雙面處理高效傳遞系統(tǒng)，其特征在于，所述中間單元(3)設(shè)置于所述基板傳遞機(jī)器人A(2)和所述基板傳遞機(jī)器人B(5)之間，包括由下至上設(shè)置的基板送出過渡單元(7)、基板前翻轉(zhuǎn)單元(8)及基板后翻轉(zhuǎn)單元(9)，其中基板送出過渡單元(7)用于緩存清洗后的晶圓，所述基板前翻轉(zhuǎn)單元(8)和所述基板后翻轉(zhuǎn)單元(9)用于晶圓的翻轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板雙面處理高效傳遞系統(tǒng)，其特征在于，所述第一清洗單元(4)和所述第二清洗單元(6)結(jié)構(gòu)相同，均包括上層清洗區(qū)和下層清洗區(qū)，所述上層清洗區(qū)內(nèi)設(shè)置有多個基板正面清洗單元(11)，所述下層清洗區(qū)內(nèi)設(shè)有多個背面清洗單元(10)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板雙面處理高效傳遞系統(tǒng)，其特征在于，所述基板傳遞機(jī)器人B(5)將所述基板前翻轉(zhuǎn)單元(8)內(nèi)翻轉(zhuǎn)后背面朝上的晶圓輸送至所述背面清洗單元(10)內(nèi)進(jìn)行背面清洗，再將背面清洗單元(10)內(nèi)清洗完畢的晶圓輸送至所述基板后翻轉(zhuǎn)單元(9)內(nèi)，所述基板后翻轉(zhuǎn)單元(9)將晶圓翻轉(zhuǎn)至正面朝上，所述基板傳遞機(jī)器人B(5)將正面朝上的晶圓輸送至所述基板正面清洗單元(11)內(nèi)進(jìn)行正面清洗，正面清洗完后的晶圓通過所述基板傳遞機(jī)器人B(5)輸送至所述基板送出過渡單元(7)內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板雙面處理高效傳遞系統(tǒng)，其特征在于，所述基板傳遞機(jī)器人A(2)和所述基板傳遞機(jī)器人B(5)均包括機(jī)械臂(12)及設(shè)置于所述機(jī)械臂(12)末端的機(jī)械手(13)，所述機(jī)械手(13)包括手掌(131)及設(shè)置于所述手掌(131)兩側(cè)的兩個手指(133)，通過兩個手指(133)托舉晶圓的邊緣，完成晶圓的輸送。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板雙面處理高效傳遞系統(tǒng)，其特征在于，所述手掌(131)上設(shè)有位于兩個所述手指(133)之間的手掌支撐凸起(132)，所述手掌支撐凸起(132)與兩個所述手指(133)一同支撐晶圓的邊緣部。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板雙面處理高效傳遞系統(tǒng)，其特征在于，所述片盒單元(1)為多個，且呈一字型排列。