[實用新型]加熱器及熱處理系統

有效

• 申請號: 201821819310.6
• 申請日: 2018-11-06
• 公開（公告）號: CN209766367U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 崔宇镕;樸暻完
• 申請（專利權）人: 圓益IPS股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 11384 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙)
• 代理人: 鄭青松

1.一種熱處理系統，用于對基板進行熱處理，其特征在于，包括：

熱處理裝置，包括對所述基板提供熱處理空間的腔室；以及

加熱器，通過形成于所述熱處理裝置的一側表面的插入口進行滑動插入；

其中，所述加熱器包括一個加熱線，所述加熱線包括發熱部及非發熱部，

所述發熱部及所述非發熱部的端子配置于相同的側表面上。

2.根據權利要求1所述的熱處理系統，其特征在于，

所述熱處理裝置包括：

本體，包含所述腔室；以及

多個插入管，配置成貫穿所述腔室的至少一側，

多個所述插入管彼此隔開規定間距并平行配置。

3.根據權利要求1所述的熱處理系統，其特征在于，

在所述熱處理裝置的一側表面的外側方向上形成有維護路徑。

4.根據權利要求1所述的熱處理系統，其特征在于，

在與所述熱處理裝置的一側表面對置的另一側表面上進一步形成有第二插入口。

5.根據權利要求4所述的熱處理系統，其特征在于，

在所述熱處理裝置的一側表面的外側方向及另一側表面的外側方向上形成有維護路徑。

6.根據權利要求1所述的熱處理系統，其特征在于，

所述加熱器包括：

外殼；以及

一個加熱管，配置在所述外殼的內部，

所述發熱部配置在所述加熱管的外周表面上，所述非發熱部連接于所述發熱部并配置在所述加熱管的內側空間內。

7.根據權利要求6所述的熱處理系統，其特征在于，

所述外殼的一端被形成為封閉式或開放式，

所述外殼的另一端被形成為開放式。

8.根據權利要求1所述的熱處理系統，其特征在于，

所述發熱部和所述非發熱部由不同種類的金屬材料構成。

9.一種熱處理系統，用于對基板進行熱處理，其特征在于，包括：

熱處理裝置，包括對所述基板提供熱處理空間的腔室；以及

加熱器，通過形成于所述熱處理裝置的一側表面的插入口進行滑動插入；

其中，所述加熱器包括多個加熱線，所述加熱線包括發熱部及非發熱部，

所述發熱部及所述非發熱部的端子配置于相同的側表面上，

各個所述加熱線的發熱部及非發熱部的位置不同。

10.根據權利要求9所述的熱處理系統，其特征在于，

所述加熱器包括：

外殼；以及

多個加熱管，分別對應于多個所述加熱線，

所述發熱部配置在對應的所述加熱管的外周表面上，所述非發熱部配置在對應的所述加熱管的內側空間內。

11.根據權利要求9所述的熱處理系統，其特征在于，

所述加熱器包括：

外殼；

多個加熱管，分別對應于多個所述加熱線；以及

發熱加熱管，將所述多個加熱管配置在內部空間內，

所述發熱部配置在所述發熱加熱管的外周表面上。

12.根據權利要求11所述的熱處理系統，其特征在于，

在所述發熱加熱管的外周表面上形成有貫穿孔。

13.根據權利要求10或11所述的熱處理系統，其特征在于，

所述外殼的一端被形成為封閉式或開放式，

所述外殼的另一端被形成為開放式。

14.根據權利要求9所述的熱處理系統，其特征在于，

所述發熱部和所述非發熱部由不同種類的金屬材料構成。