[實用新型]一種硅片自動分片送料裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821788003.6
• 申請日: 2018-11-01
• 公開（公告）號: CN209097765U
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發(fā)明（設計）人: 萬喜增;嚴云;黃笑容;鄭六奎
• 申請（專利權）人: 浙江中晶新材料研究有限公司
• 主分類號: B65G59/02
• 分類號: B65G59/02;B65G47/06
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 韓燕燕

1.一種硅片自動分片送料裝置，其特征在于，包括：

機架(1)，所述機架(1)包括支板(11)及升降區(qū)(12)，所述升降區(qū)(12)設置于所述支板(11)的一側；

硅片升降機構(2)，所述硅片升降機構(2)豎直設置于所述升降區(qū)(12)上，其與所述支板(11)可拆卸連接，其上設置有沿所述硅片升降機構(2)豎直方向往復滑動設置的滑塊(20)；

硅片承載機構(3)，所述硅片承載機構(3)設置于所述硅片升降機構(2)背離所述機架(1)的一側，其與所述滑塊(20)固定連接，且其由所述硅片升降機構(2)帶動沿豎直方向往復升降設置，該硅片承載機構(3)上承載設置有堆疊設置的硅片(30)；

發(fā)片卷輪機構(4)，所述發(fā)片卷輪機構(4)安裝設置于所述硅片承載機構(3)的頂部，其與所述支板(11)可拆卸連接，且其與所述硅片承載機構(3)上堆疊設置的硅片(30)抵觸設置，該發(fā)片卷輪機構(4)驅動所述硅片(30)逐一水平分片；以及

硅片傳送機構(5)，所述硅片傳送機構(5)設置于所述發(fā)片卷輪機構(4)的底部，其與所述支板(11)可拆卸連接，其輸入端設置于所述發(fā)片卷輪機構(4)的輸出端處，該硅片傳送機構(5)驅動所述硅片(30)逐一水平輸送。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片自動分片送料裝置，其特征在于，所述硅片升降機構(2)包括：

支撐座(21)，所述支撐座(21)與所述支板(11)可拆卸連接；

驅動件a(22)，所述驅動件a(22)設置于所述支撐座(21)的頂部，其底部固定連接有驅動軸(221)，所述驅動軸(221)貫穿所述支撐座(21)設置；

升降組件(23)，所述升降組件(23)從所述支撐座(21)的頂部延伸至所述支撐座(21)的底部，其上滑動設置有所述滑塊(20)。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種硅片自動分片送料裝置，其特征在于，所述升降組件(23)包括：

滾珠絲杠(231)，所述滾珠絲杠(231)的頂部與所述驅動軸(221)同軸連接設置，其底部轉動設置于所述支撐座(21)上；

支撐桿(232)，所述支撐桿(232)對稱設置于所述滾珠絲杠(231)與所述支板(11)平行的兩側，且其與所述支撐座(21)固定連接；

所述滑塊(20)套設于所述滾珠絲杠(231)與所述支撐桿(232)上，其由所述滾珠絲杠(231)旋轉帶動往復滑動。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片自動分片送料裝置，其特征在于，所述硅片承載機構(3)包括：

底座(31)，所述底座(31)一側與所述滑塊(20)固定連接，其上設置有的通孔a(311)；

擋板(32)，所述擋板(32)豎直設置于所述底座(31)上正對所述硅片傳送機構(5)的一側，且其與所述支板(11)垂直設置；

硅片盒(33)，所述硅片盒(33)抵觸設置于所述底座(31)上，其一側面為開口設置并抵靠在所述擋板(32)上，形成硅片放置區(qū)(331)，其頂部設置有所述硅片(30)的出料口(332)，且該硅片盒(33)平行于所述發(fā)片卷輪機構(4)傳輸方向的兩側頂部分別開設有直槽口(333)，其底部正對所述擋板(32)的一側設置有U型槽口(334)；

限位塊(34)，所述限位塊(34)為L型,其與所述硅片盒(33)底部背向所述擋板(32)兩側的直角處卡和，其上設置有與所述通孔a(311)相匹配的通孔b(341)，且其與所述底座(31)通過銷釘可拆卸連接，對所述硅片盒(33)進行固定。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種硅片自動分片送料裝置，其特征在于，所述通孔a(311)為多組設置，且其分別與所述硅片盒(33)的不同尺寸相匹配設置，各組該通孔a(311)分別與所述限位塊(34)配合對不同尺寸的所述硅片盒(33)進行限位固定。