[實用新型]一種22寸油擴散泵

有效

• 申請號: 201821778343.0
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN209146005U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 苗潤財;苗偉偉;苗潤發;張震
• 申請（專利權）人: 上海繁楓真空科技有限公司
• 主分類號: F04F9/00
• 分類號: F04F9/00
• 代理公司: 上海互順專利代理事務所(普通合伙) 31332
• 代理人: 余毅勤

本實用新型公開了一種22寸油擴散泵，包括油擴散泵泵身，油擴散泵泵身的頂部設置有進氣口，油擴散泵泵身的一側外部連接有擴散器，擴散器的上方設置有排氣口，擴散器的一側設置有油標，油擴散泵泵身的底部設置有保護罩，保護罩的上方設置有加熱器，油擴散泵泵身的頂端外側設置有法蘭，油擴散泵泵身的內部設置有第一級噴嘴。本實用新型是一種22寸油擴散泵，該油擴散泵是根據玻璃裝飾鍍膜以及相機鏡頭的鍍膜的工藝及真空性能要求，針對泵芯以及冷阱和加熱裝置進行配套設計制作的，同時該冷阱的口徑設置為22寸，與鍍膜設備的前級閥門匹配，泵芯采用旋壓件焊接后組裝的結構，進氣口尺寸、組裝高度及排氣口組裝尺寸按照客戶需求定制。

技術領域

本實用新型涉及油擴散泵領域，特別是涉及一種22寸油擴散泵。

背景技術

油擴散泵是利用低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10^-4～10^-5帕，工作壓力范圍為10^-1～10^-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1L=10^-3m³）。擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。擴散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度（約為200度）產生大量的油蒸氣，油蒸氣經導流管由各級噴嘴定向高速噴出。

由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強，這樣，被抽氣體分子沿著蒸氣方向高速運動，氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進氣多級壓縮，最后由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環工作達到抽氣目的。

目前，國內的擴散泵是油在真空中的加熱沸騰度，但是其抽速達不到相應的速度。因此，針對國內玻璃的裝飾鍍膜以及照相機的鏡頭使用的光學鏡片鍍膜設備定向研發了22英寸的擴散泵，實際抽速6500L/S，實際使用的電壓為200V或者三相380V，均可使用，與該類型的鍍膜設備完美匹配，滿足客戶要求。

實用新型內容

為了克服現有技術的不足，本實用新型提供一種22寸油擴散泵，能解決抽速不高的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供如下技術方案：

本實用新型提供一種22寸油擴散泵，包括油擴散泵泵身、進氣口、擴散器、排氣口、油標、法蘭、第一級噴嘴、泵芯桿、第二級噴嘴、第三級噴嘴、固定桿、滑輪和電控箱，所述油擴散泵泵身的頂部設置有進氣口，所述油擴散泵泵身的一側外部連接有擴散器，所述擴散器的上方設置有排氣口，所述擴散器的一側設置有油標，所述油擴散泵泵身的底部設置有保護罩，所述保護罩的上方設置有加熱器，所述油擴散泵泵身的頂端外側設置有法蘭，所述油擴散泵泵身的內部設置有第一級噴嘴，所述第一級噴嘴安裝在一級噴嘴座上，所述一級噴嘴座與泵芯桿相連通，所述泵芯桿的外側設置有第二級噴嘴，所述第一級噴嘴通過泵芯桿與第二級噴嘴安裝成一體，所述第二級噴嘴的下方設置有第三級噴嘴，所述第三級噴嘴通過導流管安裝固定在加熱器的上方，所述油擴散泵泵身的一側設置有連接桿，所述油擴散泵泵身的一側下方設置有固定桿，所述排氣口的一側設置有電控箱。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述油擴散泵泵身呈現圓柱型，所述油擴散泵泵身采用鋁合金材質焊接制成，所述油擴散泵泵身的口徑設計為22英寸，與鍍膜設備的前級閥門匹配。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述排氣口處安裝了擋油器，所述擋油器垂直于安放在排氣口處。